特种气体及电子级气体系列产品建设可研报告.doc

×××目 录 1、总 论 5 1.1概述 5 1.2 研究结论 8 2、市场预测 12 2.1 国内外市场情况预测 12 2.2 产品市场预测 13 3、产品方案及生产规模 14 3.1产品方案确定原则 14 3.2 产品方案确定 14 3.3 产品质量指标 14 3.4生产规模 20 4、工艺技术方案 22 4.1 工艺技术方案的选择 22 4.2 工艺流程简述 24 4.3 消耗定额 28 4.3 自控技术方案 32 4.4 主要设备的选择 35 4.5 项目清洁生产及循环化措施 40 4.6 标准化 40 5、原材料供应及动力消耗 41 5.1 原辅材料供应 41 5.2辅助材料供应 42 5.3水、电和其他动力供应 42 6.建厂条件和厂址选择 43 6.1 建厂条件 43 6.2厂址选择 45 7、总图运输、储运和土建 46 7.1 总图运输 46 7.2 储运 48 7.3 土建 50 8、公用工程方案和辅助生产设施 54 8.1 公用工程方案 54 8.2 辅助生产设施 60 8.3 仓储 60 9、节 能 61 9.1 节能设计原则 61 9.2 产品能耗指标及分析 61 9.3 节能措施 61 10、消 防 64 10.1 消防设计原则和依据 64 10.2 项目概况 64 10.3 消防设施和措施 64 10.4事故应急池 66 11、环境保护 68 11.1 厂址与环境现状 68 11.2 建设项目的主要污染物 68 11.3 “三废”治理与综合利用措施 70 11.4 绿化设计 71 12、劳动保护与安全卫生 72 12.1 设计依据 72 12.2 生产过程中职业危害因素的分析 72 12.3 职业安全卫生主要防范措施 75 13、工厂组织和劳动定员 79 13.1 工厂体制及组织机构 79 13.2 生产组织和劳动定员 79 13.3 人员来源和培训 79 14、项目实施计划 81 15、 投资估算 82 15.1投资估算编制说明 82 15.2投资估算编制依据和说明 82 15.3投资估算及分析 82 15.4流动资金估算 82 16、 资金筹措 83 16.1资金来源 83 16.2资金使用计划 83 17.财务评价 84 17.1 产品成本和费用估算 84 17.2 销售收入和税金估算 84 17.3 财务分析 85 18.结论 87 18.1 综合评价 87 18.2 研究报告的结论 88  1、总 论 1.1概述 1.1.1 项目名称、建设单位 项目名称：电子级气体系列产品建设项目 主办单位名称：企业性质：法定代表人： 投资项目性质及类型：新建项目 ××，创立于2012年8月，由××××气体有限公司为投资主体，××为技术依托而组建的具有高技术含量的气体公司；公司注册资本1000万元占地约35亩员工50名，其中工程技术人员16名。专业从事电子级气体（电子级氨、氯气、磷烷、乙硼烷、砷烷、氟化物及其它电子级电子类混合气体）的提纯、储存、销售；同时还有氧、氮、氩、氢气的提纯、储存、销售的公司。 电子气体是IC制造过程中必不可少的。同时它也广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤维制造等其它诸多领域。IC制造的前道工序如外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等工艺，几乎都需要不同种类和不同纯度的电子气体，正是这些气体通过不同的工艺使硅片具有半导体性能。 电子气体的纯度直接影响IC的性能、集成度、成品率；电子气体占IC制造材料成本的约20%，电子气体的价格影响IC的市场竞争力，所以电子气体是IC制造关键材料之一。随着IC制造工艺及技术的发展，芯片尺寸的不断增大，工艺不断提高，特征尺寸线宽不断减小，要求IC制程用的各种电子气体质量纯度、特定技术指标不断提高。目前8英寸以上工艺要求电子气体纯度大都在99.999%（5.0N）以上，有害杂质甚至要求达到10-9（ppb）。电子气体可以用“超纯”、“超净”来表征。 目前世界IC制造中心不断向中国转移，近几年我国IC增长速度达到每年30%左右，作为IC制造必不可少的关键材料电子气体，其需求总量大大超过人们的预期，到2012年国内电子气体年需求将超过30亿人民币。 我国电子气体整体水平和国外还有一定的差距， 8英寸以上IC生产线使用的电子级电子气体几乎全部依赖进口同快速发展的我国IC产业相比，与之相关的我国电子气体的研究与生产极。为适应我国集成电路产业的健康稳定可持续发展，提升我国集成电路装备、工艺及材料的自主创新能力和市场的竞争力，解决我国IC、光电子、太阳能、光伏电池、平板显示器、光导纤维等制造业对国外进口电子气体的依赖高纯电子气体成熟、非常必要、意义