光电子能谱(XPS)课程讲述.ppt

注意事项 严格遵守实验室管理规章制度； 刻蚀前一定要检查Analyzer：0eV，X射线枪为standby或off，荷电中和枪off； 对未知是否导电的样品，应先开荷电中和枪，再开X射线枪； 时刻注意仪器的真空状态，尤其在开各种枪时的真空： X射线枪 ： SAC优于1×10-8Torr 荷电中和枪 ：SAC优于1×10-8Torr （如果通有气体另外） 离子枪： STC优于5×10－6 Torr ，SAC优于1×10－7 Torr （在SAC腔内通有氩气时的真空） UV源： SAC-STC阀打开，优于5×10－8 Torr （在SAC腔内通有氦气时的真空） FEG枪： 小离子泵真空优于5×10－10 Torr e) 真空操作：如开关某阀，要切记真空操作原理，勿导致破真空或返油,切勿将带溶剂、浮尘松散或生物样品放入真空。 五、谱图分析 谱线种类： 光电子谱线 Auger线（动能不随激发源变化，用于辅助分析如Ag、Zn价态分析） X射线的卫星伴线（非单色化X射线） 携上线（shake-up，顺磁化合物) 多重裂分（一般辅助分析过渡金属S轨道） 能量损失线（导体，I A和II A族金属中才有明显的等离子体激元） 价电子线和谱线 1.谱图类型 2.单色化和非单色化X射线源的比较 Monochromated Al Kα Non-monochromated Mg Kα FWHM 0.97 eV FWHM 0.46 eV satellite 单色化X射线源特点：信背比高、分辨率高、无轫致辐射引起的卫星峰，不同发射源可以解决元素XPS峰和俄歇峰的重叠问题。 Ag 3d Ag 3p3/2 Ag 3p1/2 Ag 3p3/2 Ag 3p1/2 Ag 3d5/2 Ag 3d3/2 Ag 3d5/2 Ag 3d3/2 Ag 3d Ag 3s Ag 3s Ag MNV Auger satellite 3.样品的的荷电问题 4.谱图分析步骤 根据全谱扫描图样品表面定性分析； 窄扫高分辨谱图的能量校准（通常用污染碳 C 1s 284.8eV）； 根据以下原则对窄谱分峰拟合； a. 能级劈裂p\d \f能级面积比2:1\3:2\4:3,根据标准谱图确定劈裂间隙 b. 单色Al Ka PE20eV，半高宽通常在1~3eV，通常低结合能端小于结合能； c. 样品间比较尽量保持同一比较对象半高宽相近 对照标准谱图信息（NIST XPS或PHI Handbook），结合实验 情况确定分析。 六、应用实例 1.常规化学状态分析（聚对苯二甲酸乙二醇酯 PET） O KLL Peak Position FWHM Raw Area RSF Atomic Atomic Mass BE (eV) (eV) (CPS) Mass Conc % Conc % C 1s 282.000 3.181 1988710.0 0.278 12.011 74.54 68.73 O 1s 530.000 3.623 2089951.0 0.780 15.999 25.46 31.27 O 1s C 1s 定量分析聚对苯二甲酸乙二醇酯化学状态 C 1s region O 1s region O(1) 530.8eV 49 at% O(2) 532.1eV 53 at% C(1) 285.0eV 61 at% C(2) 286.5eV 21 at% C(3) 289.2eV 18 at% C3 C2 C1 O1 O2 -(-O-C- -C-O-CH2-CH2-)- = = O O n 2 2 2 3 1 3 2 1 1 价带谱在高分子中应用 3个不同异构体的聚甲基丙烯酸正丁酯，具有相同的C1s，但有不同的价带谱； 2.价带谱的应用（聚甲基丙烯酸正丁酯） 956