渠道火花烧蚀法及其应用.pdf

渠道火花烧蚀法及其应用 ChannelAblationandits in ofOxideFilms Spark Application Preparation 张群黄 丽 沈 杰 章壮健华中一 nShen ZhangpunHuang JieZhangZhuan咖HuaZhongyi 复旦大学材料科学系上海200433 ofMaterials Science，Fudan 200433，China Department university，Shanghai 摘要：暗要介绍桑道火花烧蚀法的基本蛄构和基本原理，对渠道火花烧蚀法与脉冲激光烧蚀法的性能参敷进 行了比较，指出渠道火花烧蚀法是制备氧化物薄膜的独特技术。并以成功制备的高临界温度YBCO超导薄膜和室温 高度白旋极化LSMO铰磁薄虞为倒加以说明。 关键词：渠道火花烧蚀法(cSA)，脉冲激光烧蚀法(PLD)，氧化物薄膜 Ahstract：Thebasic of and schemechannelablationis introduced．Aof principlegeneral spark bidly comparison between channd and laserablationis ablationisamostattractive performance sparl【ablationpulsed siven．Channd spark thin foroxidefilm which fdmsofYBCOandCMR with technique deposition．byhigh-Tc superconductor manganites TCurie=350 atroom were K，100％SP temperaturesuccessfullyprepared． ablationPulsedla8erablationOxidefdms Keywords：Channel spark 渠道火花烧蚀法【11(Channel Spark 薄膜的有力工具。近年来它成功地应用于制备诸如高温超导，铁磁亚锰酸盐和多种缓冲层的复合氧化物薄 膜鲫。现在，CSA又正在被重新开发子各种新的应用，如碳纳米管的生产，硬质涂层的涂复等。渠道火花烧蚀 与激光烧蚀技术具有同样的有效性和普适性，但是操作上更为简单，能够制备与靶材的化学计量比一致的 复合材料成膜，无论是金属材料还是绝缘体材料，透明靶还是不透明靶都能够烧蚀，而且成本低廉。 本文简要介绍CSA的基本结构和基本原理，分析基本结构参数对电子束性能的影响；对CSA和脉冲激光烧 蚀法(PLD)进行分析比较，指出两种制备薄膜方法的相同点与不同之处；举例两种由CSA制备的复合氧化物 薄膜，揭示CSA方法的技术特点。 一、原 理 烧蚀或爆炸式升华是这样一个过程，有一个很高的能量羼间转移到靶材的很小部位，造成其温度高于 升华限制。烧蚀深度由材料的能量吸收深度和工作材料的气化热所决定，也是柬能密度和脉冲宽度的函数。 渠道火花烧蚀法是一种脉冲电子束沉积法，其载流子由辉光放电