pecvdsioxsinx叠层钝化膜及等离子体氧化的研究硕士学位文档.docVIP

分类号 密级：机密 硕士学位论文 题目： PECVD SiOx-SiNx叠层钝化膜 及等离子体氧化的研究 英文并列题目： The Study of PECVD SiOx-SiNx Stack Passivation Films and Plasma Oxidation 研究生： 专业： 光学工程 研究方向： 光电器件与材料 导师： 指导小组成员： 学位授予日期： 答辩委员会主席： 王利光 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含本人为获得江南大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。 签名： 日期： 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解江南大学有关保留、使用学位论文的规定：江南大学有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅，可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文，并且本人电子文档的内容