螺杆干式真空泵.docVIP

螺杆式干式真空泵设计 摘 要：近年来在半导体工业和液晶显示器制造等工艺中，对清洁真空环境的要求越来越高。如在半导体的等离子增强气相沉淀(PECVD)和反应离子刻蚀(RIE)工艺中，在液晶生产上使用的蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中，不但要求环境清洁，而且还需要抽除大量含有微小颗粒及粉尘的反应生成气体。这些问题都不是传统的有油泵所能解决的。本文的研究对象——螺杆式干式真空泵，抽气腔内无任何工作液，保证了被抽空间不受污染;无油蒸汽排放，保证了外部环境的清洁。由于阴阳转子齿面间留有间隙，因而可以抽除含有粉尘，或有腐蚀性，有毒的气体。作者主要着重于以下几个方面的研究：干式螺杆真空泵的基本原理。阴阳螺杆的型线研究。螺杆端面型线采用双边对称圆弧型线，推导出啮合原理的数学表达式，建立几何模型推导出端面型线方程，继而推导出螺旋齿面方程。几何特性的研究等。 关键词：干式真空泵 螺杆 型线 Abstract: Recently，in the semiconductor process of plasma enhanced chemical vapor deposition (PEVCD) and reactive ion etching (RIE)，in the liquid crystal display device manufacture process of etching and PLASMA CVD production, it has not only high demand of vacuum environment cleanliness, but also need to extract a huge amount of reaction-gas containing particle and dust. The conventional oil pump cant solve the problems mentioned above. The research object in this paper-dry screw vacuum pump has no operating fluid in the extracting chamber. It can guarantee space extracted and out side clean. It can extract gas containing mill dust ,corrosivity ,and poison ,because it has small gap between tooth face of male and female rotors .I have focused on there search as following .The profile research of male and female screws . The end face profile is double sides and symmetrical circles. Deduce the mathematic expression of meshing principle; establish the geometric model and deduce the equations of end face profile, then the Equations of helical tooth face .The research of geometrical properties，etc. Keywords：dry(oil-free)vacuum pump screw 目录 第一章 绪论 4 1.1 课题背景及研究意义 4 1.2 螺杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向 6 第二章 螺杆干式真空泵转子型线的研究 8 2.1 常见转子型线比较 8 2.2 多头双边对称圆弧型线 9 2.2.1转子型线要素 10 2.2.3 多头双边对称圆弧型线方程 12 第三章 螺杆干式真空泵工作原理 16 第四章 螺杆干式真空泵设计计算 19 4.1螺杆基本尺寸 19 4.2排气量 21 4.2.1理论排气量 21 4.2.1实际排气量 21 4.3进排气孔口 22 4.3.1轴向进气口 22 4.3.2轴向排气口 23 4.4极限真空度、功率及冷却水量 23 4.5轴的强度计算 24 4.6同步齿轮的设计计算 24 4.6.1齿轮尺寸计算 24 4.6.1齿轮强度校核 25 参考文献： 26  绪论 1905年德国人沃尔夫岗.盖德发明了油封式旋片泵，从此各种以油为工作液、润滑剂、密封液的真空泵如雨后春