用扫描电镜测量纳米级标准长度的倾斜误差计算.pdfVIP

鬈乎器 。、。。。。篙：：恐。…。。。。。， ．。：盐 用扫描电镜测量纳米级标准长度的 倾斜误差计算 王瑞斌’，赖奕坚1，压明珠1，郭新秋’，王铮’，李刚、，张训彪2 (1 f海空Ⅱ女学斩…试十o，L母200030，2lq*^{i晦2{K)030) 用卡』描电镜测量纳米级长度的时候’，被洲长度的倾斜会导致被测长度产牛陧差，通常称其为倾 斜误差。本文对于倾斜误差进行r实验和分析绐出r倾斜避差与倾斜角度的戈系公式和对应数擗袁， 问时提出了减小或消除倾斜拱差的方法．为提高测晕准确度，建证标准测量方法1 创j盘了条件 1 被测长度倾斜误差的理论分析 假设样品AB长度为￡，倾斜角度为日，放大倍数为M，并且由于扫描电镜的工作距离有不同的定 义，实验采用：“电子求扫描的偏转起点，f4被洲长度的距离1 般是毫米量级，电子束在坎测长度 方向的扫描距离，一般尾微米级，有时是纳米级扫描线的开角“的量值较小，所以这里不考虑电子 柬的扫描角 ^c=^口x cos0，AB=AB’=f，所以△=BC,=AC一^B=J…，xpI)。设被{勋长度方向倾斜产牛 的相对洪差为e，e=A／￡一s0一l，一与8的理沧戈系，如表1所示。 表I硅测长度女l∞倾斜*镕与被测长度倾斜角∞关{ 目*月目 o 2 5 s 10 】5 20 25 30 35 40 ” 而磊／％—了—、面—可i—1矿—1r—五广—而广—万—i石—百面—j㈣五 2实验部分 使用仪器：飞利浦公司的场发射扫描电镜 3—4 SIRON200．工作距离45帅，加速电惟5kV． 样品：美国国家标准局的测定扫描电镜放大倍数的标 ‘ 准样品SRM484a的1p．m分度。被洲长度#|对于垂直 于电子柬方向倾斜．倾斜角度分*’I为0。、2。、5。、 Ml抖描电镜嘲片 8。、10。，15o、20。、25。30。、35。、40。、45o，图I 为0。和45。电镜斟片。每个慨斜角度取20组删肇数据进 行平均：测鼙平均值监枉I时误蕞见袁2， *目m口 o 2 5 8 10 5 20 25 m 35 40 45 2310 2 27999 22589422365722【4 4㈨2I742{H7“2OI2 9㈣I d71B】762 +日mUnto55 22∞91 202169 兰丛生墨坐|_—生——坚L—i苎—』旦——坚生—土旦—』』——业L—兰兰—上苎—』』Lr兰!!L 3结果与讨论 (I)由实测结果与理论分析结果可以看H{．在倾斜角度小十2。”Hf，实测误差远近大于，H论分析误差 (2)倾斜角度大于20。时，倾斜角度越大，实删误差比坤沧分析洪差小的越多 (3)如聚是对于一般曲舟析醐试，虽然·4以放宽要求．但是2。时捉釜就达到132％r，可以看出 泼测H寸越小、影像越大 (4)对于颗粒度删量。．需要的是统计1’均值通过大量颗粒的统}f平均可以抵消倾斜谍差． 不需要确定或椭摧被测长度方向。 (5)消除倾斜洪差的方法：需坚消除倾斜谨差的时候，可以Ⅲ两种简巾的方法，第1种：被测长 度方向已知．州已知长度的佯66进行参Jli{，在观测样品时，将L知样品稠褡到垂直于}1描电镜的电子 光轴办向ur以认为和已知样品同样放拦的醴测长度方向也垂直电子光轴第2种被测长度方向无 一189— 第25卷 分析测试学报 增刊 法预知，例如：纳米晶体的边长，就不一定与样品工作面平行。这样 小的晶体如何确定其边长的方向，并将边长方向调整到垂直于扫描电 镜电子光轴的方向，是一个技术难题。被测长度如果不垂直于样品台 的倾斜轴，如图2所示。MN为样品台轴，AB为被测长度。将样品倾 斜角度0后，测量AB的长度，经过多次调整，逐步靠近，可以使样 品尽量