静电对策实施手册2研究.doc

页数14/59 3.8作业台、货架的导电胶皮垫子、导电地板等的电阻值测定 为进行静电对策、保护人体，需要管理的适当值。 新设备以及变更时，定期检查时要按下面的方法来实施 未确保ESD对策基准的适用（IEC61340 、4-1 、5-1、5-2），半导体设备的耐性低下，人体的安全性，需要变更测定基准；而且以以前的500V的基准来测电阻，的确是无法测出导电胶皮垫子是异常的。所以一定要改正。 3.8.1以国际规格 IEC61340 4-1、5-1、5-2为基准的方法 a)使用测定器 是一种电阻值未达到1×106Ω的场合，印加10[V]就可测出来的 是一种电阻值未达到1×106Ω的场合，印加10[V]就可测出来的 代表例 .表面电阻计 Suface Resistance Test Kit 3.8.2继续使用一部分旧基准的测定器具 有效利用旧的测定器得出误差很少的测定结果 a)使用测定器 代表例 .电阻计 印加电压是125[V]的绝缘电阻计 制造公司 YOKOKAWA 专用电极 型号 MY-40 JIS标准条件的电极 （2Kg φ60mm） b)代表例 使用测定器电阻计 印加电压是10[V]的绝缘电阻计 制造公司 YOKOKAWA 专用电极 型号 2426A 美国标准的5磅重的电极 （120H× φ64mm) 有效利用旧的测定器的注意点 和旧的国际规格IEC61340方式进行比较测定，显示出最接近的值可做相同判断 对测定值产生怀疑时，可按IEC61340基准a)的方法进行测定。 测定时的注意点 测定现在的状态是很重要的，测定前禁止用有机溶液洗净，用水擦拭 有少量灰尘时，也可以用柔软的刷子除去灰尘-。 页数15/59 3.8.3测地板面、作业台表面、货架表面和接地极间的绝缘电阻时的连接图 测定方法 3.8.4绝缘电阻的管理值 变更前----------JIS基准的测定基准和绝缘电阻值 测定方式 电压[V] 电极[mm] 重量 绝缘电阻值[MΩ] 以前的方式 500 φ60 2Kg 0.1~100以内 问题点 测定电压变高就会破坏绝缘层使绝缘值看起来很低 ◇变更后 IEC61340，ESD S4-1基准中的测定基准和绝缘电阻值 测定方式 电压[100V] 电极[mm] 重量 绝缘电阻值 国际规格方式 100 φ64 5磅 0.1~100以内 使用旧测定器a) 125 φ60 2Kg 0.1~100以内 使用旧测定器b) 100 φ64 5磅 0.1~100以内 益处：因为不破坏绝缘层就能取得适当的测定结果 1.推荐的地板、桌子、货架等的绝缘电阻值是0.75~10 MΩ以下是最好的。 2.避免 以静电鞋为介将人体的电位连接在地板面的接地极时的体系合成电阻值是0.75~10MΩ以下是最好的。 3.同样，使用静电手环接地时，推荐的体系合成电阻值是0.75~10MΩ以下是最好的。 10~35MΩ时，有些异常。 在等级2（50V）以下，有带静电手环的义务的理由是，因为低电阻（10MΩ以下）的电阻值可将人体的带电电压值控制在50V以下。 页数16/59 3.9导电胶皮垫子的性能判定 导电胶皮垫子的主要目的是为防止半导体设备的静电放电带来的损伤而作了无电位[0V]等电位面。 做半导体、搭载有半导体的PCB、处理半完成品的面。 遮断电界 具有接地用具的作用。用静电鞋铺在地板面上的导电胶皮垫子，构筑接地体系。 选定导电胶皮垫子时，不仅需要商品目录数据，而且也需要实际评价了解素性，另外也需要把握现有的胶皮垫子的状态。 作为参考只测定了电阻值，但是也评价了市场上销售的导电胶皮垫子。 ?AKIRESU制 SC垫子的电阻值测定 a)测定绝缘电阻值（500V） b) 测定绝缘电阻值（125V） 确认测定结果 以500V来测定的电阻值低 500V/125V的电阻变化 7.71/4.68=1.65倍的变化 满足所规定的规格值 ?矢崎制 静电胶皮垫的电阻值测定 a)绝缘电阻值测定（500V）