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微执行器研究综述摘要：在微机电系统中，微执行器是核心部件。为了优化设计微执行器，通过对比近年来各种微执行器的研究和发展，系统地总结了线性位移微执行器所采用的驱动原理、驱动方式和应用以及存在的优缺点，根据微执行器的驱动方式的不同，对微执行器的应用进行了介绍。关键词：微机电系统、微执行器、线性、驱动方式、原理1 引言微机电系统是集精密机械、微电子、自动控制、材料、生物等技术于一体的新型研究领域，可以解决微小领域中收集处理信息、决策、行动及周围环境的控制等方面的复杂的技术问题，在工业管道、信息通信、医疗卫生、军事以及生物科技领域有着潜在的巨大应用前景，在MEMS中，微执行器作为可动部分，其动作范围的大小、动作效率的高低、动作的可靠性等指标决定了系统的成败，它是MEMS中最重要的环节。文中在总结MEMS最新研究成果的基础上，就MEMS驱动原理做进一步介绍。微执行器的工作原理是将光、电、热及磁等多种形式的能量转换成能量输出。因此它有多种不同的驱动和结构形式。从能量转换形式分类，有静电驱动、电磁驱动、压电驱动、形状记忆合金驱动、凝胶驱动、热驱动及超导驱动等形式。2静电线性执行器图1为日本Fukuda等人1997年制作的线性马达，其工作原理为一个可动的、端部带有凸起的导电板当在这枚导电板和埋在衬底中的导电体之间施加电压，导电板会向下弯曲，推动端部突起向前运动一小段距离，当撤掉电压时，由于凸起点与绝缘表面的摩擦力不平衡，会产生运动的校正而恢复原状这时导电板已产生了向前的净运动。重复以上步骤可使导电板形成连续的线性运动。3.1压电惯性线性执行器上海交通大学的卢秋红等人研究的线性执行器，其工作原理是：（1）系统处于初始状态（2）压电器件快速伸长，滑块因惯性保持不动（3）压电器器件缓慢收缩，滑块在静摩擦力的作用下想做运动一个步距，改变控制信号的频率3.2 压电仿生型步进式直线执行器现有各种直线执行器存在的突出缺点是精度不够高、输出力小、结构复杂，有的寿命短有的还未实用化。因此，广东工业学院的杨宜民等人对仿生型步进式直线执行器进行了研究。显然把右边理解为左边，或将中间部膨胀理解为收缩，则能向左移动。其适用于低俗自动控制装置中的超高精度的定位和驱动。4 形状记忆合金致动形状记忆合金（SMA）一旦记忆了某个形状，即使使它变形，当加热到一定温度时，它也会恢复为变形前的形状。SMA致动器具有输出力大和形变量大，为压电材料的10倍左右，体积小、重量轻、动作柔性好、控制方便等特点。其缺点是相应速度比较慢，而且形变呈阶跃性变化，因此限制了其应用。为了提高相应速度，一方面薄板、丝和薄膜状等小体积材料得到了广泛的应用。4.1 丝状SMA执行器 中国科学技术大学的杨杰等人开发的机构如图所示，主要用于机器人，Kohl等人研制的SMA微夹具，其外形尺寸为2mm*5.8mm*0.23mm产生的最大位移300um，最大力为35mN 爬行机构示意图4.2自动植入式SMA执行器 日本东北大学正在研制的内窥镜外径为2.8mm，由多节总成。接御姐之间的连接部位上有集成芯片，不但控制单个也可控制多个形状记忆合金同时弯曲变形，通过各个SMA弯曲角度的不同产生的合力达到控制整个内窥镜向预设方向运动。该SMA通过包在其上的加热媒介间接加热，同时，为了获得更大的弯曲角度和更快的响应速度，采用了弹簧变形后恢复力作为SMA的外施加力，但因为人体内部环境的特殊性，加热温度不够高，这是限制了此驱动器的作用5 热致动 热致动的方式很多，在MEMS中常用热膨胀致动。在温度改变时，材料的热膨胀量为热致动克服了静电致动和电磁制动对距离依赖的弱点，而且作用力大，可达几百mN以上，但由于一般材料的热膨胀系统较小，因此产生位移量很小。5.1热膨胀冲击式线性执行器 为了加大位移量，Y.Yamagata等人研制了热膨胀冲击执行器，当驱动频率8kHz左右时移动速度可以9mm/s。加热方式有电流加热、激光加热、RF电磁波加热、直接热传递或化学方法加热等。其中，激光和电磁波加热可实现无导线加热。5.2 石蜡热膨胀线性执行器 清华大学的王广振等人针对内窥镜研制了微型执行器，当石蜡的温度从35摄氏度升高到40摄氏度时，其体积膨胀接近10%。在水冷是，执行器可以达到0.156mm/s的运动速度，虽然速度不是很快，但由于输出力大，所以其设计方案是可行的。该系统还有以下不足：（1）未实现双向驱动，只能单向驱动，要实现石蜡膨胀无线驱动方式下的双向运动，可从控制方式、机械机构和运动方式等方面入手，特别是借助SMA的双向驱动控制（2）虽然可以实现无线驱动，但其范围有限（3）没有有效解决热致动速度慢的问题，可以改变加热和制冷方式，从而减少执行器的长度和系统的体积。6各种执行器机制比较7结束语微执行器作为微机电系统的核心部分，将直接影响MEMS