王爽使用线阵型CCD_实现高精度二维位置测量的方法.doc

题目：线阵CCD在高精度二维位置测量方面的应用 学院（系）：里仁学院电子工程系 年级专业： 电子科学与技术08-1班 学 号： 081308061023 学生姓名： 王爽 线阵CCD在高精度二维位置测量方面的应用 一、CCD的概述 电荷耦合元件（CCD），英文全称Charge-coupled Device。可以称为CCD图像传感器。CCD是一种半导体器件，能够把光学影像转化为数字信号。 CCD上植入的微小光敏物质称作像素（Pixel）。一块CCD上包含的像素数越多，其提供的画面分辨率也就越高。CCD的作用就像胶片一样，但它是把图像像素转换成数字信号。CCD上有许多排列整齐的电容，能感应光线，并将影像转变成数字信号。经由外部电路的控制，每个小电容能将其所带的电荷转给它相邻的电容。电荷耦合器件是贝尔实验室的W.S.Boyle和G.E.Smith于1970年发明的,由于它有光电转换、信息存储、延时和将电信号按顺序传送等功能,且集成度高、功耗低,因此随后得到飞速发展,是图像采集及数字化处理必不可少的关键器件，广泛应用于科学，教育，医学，商业，工业，军事等方面。 二、 CCD的基本原理与结构 1、CCD的基本原理 电荷耦合器件的突出特点是以电荷作为信号，而不同于其他大多数器件是以电流或者电压为信号。 所以ＣＣＤ的基本功能是电荷的存储和电荷的转移。它存储由光或电激励产生的信号电荷，当对它施加特定时序的脉冲时，其存储的信号电荷便能在CCD内作定向传输。ＣＣＤ工作过程的主要问题是信号电荷的产生，存储，传输，检测。 2、CCD的基本结构 转移电极结构、转移沟道结构、信号输入结构、信号输出结构、信号检测结构。构成CCD的基本单元是MOS电容。一系列彼此非常接近的MOS电容用同一半导体衬底制成，衬底可以是P型或N型材料，上面生长均匀、连续的氧化层，在氧化层表面排列互相绝缘而且距离极小的金属化电极（栅极）。 3、线阵CCD 结构简单，成本较低。可以同时储存一行电视信号.由于其单排感光单元的数目可以做得很多，在同等测量精度的前提下，其测量范围可以做的较大，并且由于线阵CCD实时传输光电变换信号和自扫描速度快、频率响应高，能够实现动态测量，并能在低照度下工作，所以线阵CCD广泛地应用在产品尺寸测量和分类、非接触尺寸测量、条形码等许多领域。 线阵CCD可分为双沟道传输与单沟道传输两种结构。下图(a)为单沟道，(b)为双沟道。 特点:由于CCD像元是有间隔的，不论面阵还是线阵CCD获取的图像外观虽然是致密的，但实质上都是离散图像，但面阵CCD像元在纵横两个方向间隔一致，其图像的离散度是一致的，而线阵CCD图像由于存在像元间距和扫描行距，像素点在两个坐标方向上的距离分别是像元间距和扫描行距，一般来说扫描行距受机械传动部分的限制，远大于像元间距。 线阵CCD获取二维图像，必须配以扫描运动，在此过程中，线阵CCD在电机驱动下水平前移，按照固定的时间间隔采集一行图像。从理论上讲，电机运动速度应该是匀速的；CCD采集图像的时间间隔主要取决于光积分时间，也应该是相等的，因此行距应该是相等的，但由于电机运动产生的振动、启停过程中速度的变化，特别是机械传部分的误差都会影响采集行距的一致性，同时，线阵CCD 自身光积分时间也会影响采集行距。 三、CCD在高精度二维位置测量方法 先介绍球面镜—柱面镜组合的特性, 它构成本CCD 光学成像系统的基础。如图1所示, 球面镜焦距为,柱面镜焦距为, 它们共轴且距离分别小于和。o是球面镜的焦点, 平面xoy 是球面镜的焦平面,M是焦平面上x轴上一点, 通过球面镜后为一束平行光, 平行光经柱面镜汇聚成一条直线。这样通过球透镜—柱面镜组合M点成像为一条直线a, 直线a 位于柱面镜的焦平面上且与柱面镜的圆柱轴线方向平行。同理, 过M 点平行于y 轴的直线上的任意一点成的像都是直线a。这样, a 到z 轴的距离对应M 点的x 坐标。设a 到z 轴的距离为b, 由透镜像公式得出 （1） 若取f 1= f 2, 则a 到z 轴的距离为b= OM 图1 球面镜—柱面镜组合成像图 1、二维位置测量光学系统 该光学系统由一组光学仪器组成, 包括主球面镜、球面镜、分光棱镜、两个柱面镜和两个线阵型CCD。主球面镜、球面镜及分光棱镜共轴, 分光棱镜分出两条相互垂直的光路, 在两条光路轴上分别加上柱面镜, 柱面镜的圆柱轴线方向相互垂直。这样, 分光棱镜的引入构成了两组球面镜—柱面镜组合, 它们分别测定x 轴和y 轴方向的位置。为方便设计, 我们选取具有相同焦距的球面镜和柱面镜。如图2 所示, 主球面镜的焦距是f