表面传感的超大规模分子动力学仿真.pdfVIP

第九届全陶电分析化学学术会议论文摘要集 D纳米电分析化学与电化学检测鼍件 D76表面传感的超大规模分子动力学仿真 唐玉兰王东旭胡适赵健伟木 (南京大学化学化工学院，南京210093) 现代表面传感技术广泛应用表面物理化学、材料、表面测量、表面纳米加工等新技术， 实现痕量物质、有害物质等的在线检测，有力地促进环境保护、食品安全和国家安全。表面 传感器件依赖于微机电系统和纳机电系统的快速发展，器件趋于小型化、微型化，器件尺寸 甚至要求达到纳米量级，此时器件的比表面积大，已加工表面形态成为器件性能的主要影响 因素，因此研究已加工表面的微观形态、考察传感过程的微观机理是十分必要的。本文通过 超大规模分子动力学方法，模拟传感器件的纳米加工过程，然后利用蒙特卡罗方法详细考察 器件表面传感过程的微观机理，进一步研究表面吸附对器件表面形态的影响。这些结果对器 件维护、延长器件使用寿命、优化器件结构、开发新型器件提供了理论研究的新途径。 I． 仿真模型 分子动力学和蒙特卡罗方法是基于原子、分子尺度上模拟材料、器件等微观过程的计算 机仿真方法。从分子角度研究传感器件制备过程和工作机理，是实验方法的一种强有力的补 充。 图l为传感器件表面的吸附模型，模型被划分成两部分，下方为传感器件部分，这部分 在吸附过程中被认为固定不动，传感器件表面上方的氧气部分，这部分原子可自由运动。其 中传感器件通过分子动力学方法模拟传感器件制备过程获得，器件表面上方氧气分子分布及 其运动通过蒙特卡罗方法模拟。 图1传感器件的表面吸附模型 2． 仿真条件 本文以单晶硅表面吸附空气中的氧为例。仿真过程中，单晶硅原子固定不动，系统温度 保持在293k，氧分子的随机位移0．25a(a单晶硅晶格常数)，单晶硅原子之间的相互作用采 3． 仿真结果与讨论 图2是单晶硅表面吸附过程中的瞬间原子位置图，从图中看出，空气中氧不断被单晶硅 433 表面吸附，当已吸附的氧原子数和解吸附的氧原子数相等时，系统达到稳定状态，系统能 ● 吸附始态 吸附中间状态 吸附终态 图2表面吸附过程中瞬间原子位置图 量最低。从图2中吸附终态看出，氧不仅存在硅表面上方，在硅表面下方也有氧原子存在， 这与文献[1】的实验结果基本一致。在文献【2】中，作者通过x．射线光电能谱(xPs)分析，发 nm之间有非晶态二氧化硅的产生。 现距离表面下方0．3．0．4 单晶硅表面吸附前表面能为3．58J／m2，吸附后表面能2．35J／m2，表面能降低了1．23J／m2， 这说明吸附使得体系能量降低，体系处于更加稳定的状态，‘吸附是固体表面固有的性质。表 面吸附前的显微硬度为17．5GPa，吸附之后的显微硬度为18．3 Gpa。这一数据有别于Bhushan[3】 等人的结果。利用表面吸附结构，我们解释了产生上述差别的原因。 参考文献 [1】 ReviewB1989，39(8)：566-568 J．Tersoff．Physical 【2】 赵清亮．哈尔滨：[业大学博士学位论文，1999 [3]B．Bhushan，V．N．Koinkar．Appl．ehys．Lett．1994，64(13)：653-655 434