传感器原理与电路设计第2讲总结.ppt

第2章 传感器的基本特性 10.27.2015 * 第2讲 GMES 2008 目录 传感器的静态特性 传感器的动态特性 传感器标定与校准 制造装备与系统研究所 Group of Manufacturing Equipments and Systems 天津大学机械工程学院 School of Mechanical Engineering, TJU 传感器基本特性概述 传感器的基本特性：传感器的输入X(被测量)－输出Y关系特性。是传感器内部结构参数作用关系的外部表现 输入信号(被测物理量)分为： 稳态信号：信号不随时间变化或变化缓慢 动态信号：信号随时间变化 分别对应传感器特性：静态特性、动态特性 对传感器的要求：高精度－＞信号（或能量）无失真转换－＞反映被测量的原始特征 传感器静态特性主要指标 传感器的静态特性 传感器的静态特性：在稳态信号作用下的输入－输出关系。不含有时间变量。主要有： 线性度 灵敏度 分辨率 迟滞 重复性 漂移 传感器的输出输入关系或多或少地存在非线性。在不考虑迟滞、蠕变、不稳定性等因素的情况下，其静态特性可用下列多项式代数方程表示： 式中：y—输出量； x—输入量； a0—零点输出； a1—理论灵敏度； a2、a3、 … 、 an—非线性项系数。 1.线性度Linearity 传感器的静态特性 线性度：传感器的输入、输出间成线性关系的程度 y=a0+a1x+a2x2+a3x3+…+anxn 1.线性度Linearity 传感器的静态特性 非线性特性的线性化处理 条件：方次不高、输入量变化范围不大 方法：直线拟合 y=a0+a1x+a2x2+a3x3+…+anxn 1.线性度Linearity 传感器的静态特性 ΔLmax一最大非线性误差； yFS—满量程输出。 通常采用最小二乘法拟合 在采用直线拟合线性化时，实际特性曲线与拟合曲线之间的偏差称为非线性误差，其最大值与输出满刻度值之比作为线性度指标 γL γL=±(ΔLmax/yFS)×100% 1.线性度Linearity 传感器的静态特性 最小二乘法求直线拟合 设拟合直线方程： 0 y yi x y=kx+b xi 最小二乘拟合法 y=kx+b 若实际校准测试点有n个，则第i个校准数据与拟合直线上响应值之间的残差为 最小二乘法拟合直线的原理：使 为最小值，即 Δi=yi-(kxi+b) 1.线性度Linearity 传感器的静态特性 最小二乘法求直线拟合 即得到k和b的表达式 将k和b代入拟合直线方程，即可得到拟合直线，然后求出残差的最大值Lmax即为非线性误差。 对k和b一阶偏导数等于零，求出b和k的表达式 2.灵敏度Sensitivity 传感器的静态特性 定义：传感器在稳态信号作用下输出量变化对输入量变化的比值 2.灵敏度Sensitivity 传感器的静态特性 对于线性传感器：灵敏度就是静态特性斜率 对于非线性传感器：灵敏度为变量，特性曲线越陡，灵敏度越大；越平坦，灵敏度越小。灵敏度实质上就是放大倍数，体现了传感器对输入量微小变化的敏感程度 灵敏度越高越好，越恒定越好。但灵敏度高易受干扰 3.分辨率resolution 传感器的静态特性 定义：分辨率是指传感器能够感知或检测到的最小输入信号增量。分辨率可以用绝对值或与满量程的百分比来表示。 用绝对值表示一般称为分辨力 用与满量程的百分数表示时称为分辨率 在传感器输入零点附近的分辨力称为阈值 4.迟滞Hysteresis 传感器的静态特性 定义：在相同测量条件下，对应于同一大小的输入信号，传感器正、反行程的输出信号大小不相等（曲线不重合）的现象。产生原因：传感器机械部分存在摩擦、间隙、松动、积尘等 0 y x ⊿Hmax yFS 迟滞特性如图所示，它一般是由实验方法测得。迟滞误差一般以满量程输出的百分数表示，即 迟滞误差的另一名称叫回程误差。回程误差常用绝对误差表示。检测回程误差时，可选择几个测试点。对应于每一输入信号，传感器正行程及反行程中输出信号差值的最大者即为回程误差。 5.重复性Repeatability 传感器的静态特性 定义：传感器在输入量按同一方向作全量程多次测试时所得输入－输出特性曲线一致的程度 y 0 ⊿Rmax2 ⊿Rmax1 x △Rmax1正行程的最大重复性偏差 △Rmax2反行程的最大重复性偏差 重复性误差可用正反行程的最大偏差与满量程输出之比的百分数表示，即 重复性误差也常用绝对误差表示。检测时也可选取几个测试点，对应每一点多次从同一方向趋近，获得输出值系列yi1，yi2，yi3，…，yin，算出最大值与最小值之差或3σ作为重复性偏