第五章 料激发化学.doc

第五章 材料激发化学 5.1 等离子体化学 固体 物质的三种状态　 液体 气体 在产生等离子体的放电空间存在： 离子、电子、高度激发的分子和原子 　　　　　　　进行 等离子体化学——是指如何有效地运用这类化学反应的一门科学及其 研究范畴。 应用： 干法制造集成电路工艺 无机、有机材料的表面改性 薄膜的制备方法 5.1.1 等离子体 1.等离子体原理 气体分子　　　　　　分解和电离　　　　　　　　　　电离气体 ※电离气体与原来气体的区别： （1）在组成上不同 普通气体是由电中性的分子或原子组成的， 电离气体是由带电粒子和中性粒子组成的； （2）在性质上不同 ①电离气体是导电流体，而又能在与气体体积相比拟的 宏观尺度内保持电中性； ②气体分子间不存在静电磁力 电离气体中的带电粒子间存在库仑力，导致带电粒子 群的种种集体运动； ③电离气体作为一个带电粒子系，其运动行为受到磁场的 影响和支配 ∴　电离气体是有别于普通气体的一种新的物质聚集态 等离子体——就是电离气体，是由电子、离子、原子、分子或自由基 等粒子组成的集合体。 特点：　　电离气体中的正电荷总数和负电荷总数相等， 故称为等离子体。 2.等离子体的温度 当系统呈热平衡状态时： 气体粒子的运动速率服从麦克斯韦尔分布 在等离子体中，粒子的平均动能与温度的关系为： —粒子的质量 —温度 —速度平方的平均值 —波尔兹