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- 2017-04-08 发布于湖北
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蔡司场发射扫描电镜操作培训
安全规则
设备的电源一定要确保持续和稳定。
当设备出现短路,起火等重大紧急故障时,切断设备电源和UPS电源。电源开关见下图红圈
当样品台移动的时候,一定要在TV模式下,确保其不会碰撞到探头。(尤其是在样品台上升的过程中)要求WD8mm
平时观测时,注意不要碰到左边的操纵杆,以免样品高度和倾斜度发生变化,损坏镜头和探测器!
开关仓门时必须轻拉轻推,避免撞击,震动极易损坏探测器。
安全规则
样品一定要粘牢在样品台上,样品高度应基本一致,样品表面平整,样品大小不得超出大样品台边缘(3英寸硅片一次只能放入一片),高度不得超过30mm,重量不得超过500g。
不允许放入:液体、有机、生物、不耐热、熔融蒸发、松动粉末或碎屑等有挥发物样品!(电镜镜筒最怕污染,无VP模式)
凡是不导电样品必须镀导电膜。
样品台一定要卡紧在样品室基座上,左右不得晃动!
样品台的安装:请注意图片上箭头方向
样品台背面:卡槽
样品观测结束后,一律将高压关掉(EHT OFF),否则会影响灯丝寿命。
如需要回收样品,则取出样品后必须抽真空,否则会增加抽真空的时间和难度。
关上氮气瓶阀门。
把重新设定的参数改回。
数据刻录一定要用实验室提供的光盘专门在此机器上刻录,禁止使用在其它机器上刻录过的光盘,禁止使用U盘和移动硬盘。
设备的电源一定要保持持续和稳定,无需开关硬件电源,每次实验后只需关闭电脑
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