采用数字校正、PWM反馈技术的硅微加速度计.pdf

第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS 2006年10月 JOURNAL Oct．2006 Miero-触lerometer a谢嗍ElectrostaticSeFvo Utilizi嚷唰Control Technique ANKang¨．SUYah2 210096，China‘ ，1．SoutheastUniversity，bJfMm鲫￡ScienceandEngineeringDept．Nangjing 、 ＼Z．NanjingUniversityofTechnology 210094，China， controIandPWMelectrostaticservo basedon Abstract：Miero-accelerometer technique utilizingdigital TMS320F2810isintroduced．Thebasicdetection is andthe of isan— principlepresentedprincipleoperation math-modelof isestablishedandcalibrationmoduleinS is alyzed．The close-loopsystem regiondesigned． is and on Themethodof calibrationmoduleintroduceditsinfluence designingdigital systemsdynamicper— formanceiS contr01andPWM ofmicro-accelerometerarerealized． researched．Close-loopdigital output electrostaticservo control；PWM Keywords：micro-accelerometer；digital EEACC：2575D；7230E 采用数字校正、PWM反馈技术的硅微加速度计 安 康¨，苏 岩2 (1．东南大学仪器科学与工程系，南京210096；2．南京理工大学机械工程学院，南京210094) 摘 的基本工作原理，建立了相应的闭环系统数学模型，并在S域设计了系统校正环节．文章还提出了数字校正环节的设计方 法，并分析了其对系统动态特性的影响．该方案可以实现硅微加速度计的数字闭环控制，并可以实现加速度计的PWM数 字信号输出． 关键词：硅微加速度计数字控制PWM静电力反馈 中图分类号：TP212．1 文献标识码：A 文章编号：1伽午1699(20嘶)05—2233稍 电容式微加速度计因为其灵敏度高，稳定性好， 0 M5