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采用无源声表面波谐振器的无线温度测量虚拟仪器系统书 郑敏文玉梅李平杨进 重庆大学光电工程学院重庆400030 摘要：针对以前用无源声表面波谐振器作为传感器的无线测量系统构成复杂、成本高、精度和测量 距离有限的缺点，开发了一种新的无源声表面波无线测量虚拟仪器系统。重点介绍了虚拟仪器系统的硬 件结构和软件设计，总结了仪器系统的特点，并给出了该系统进行温度测量的实验结果。 关键词：声表面波无源谐振器无线温度测量虚拟仪器 1．前言 Acoustic 声表面波(Surface Wave，SAW)传感器近几年来得到了迅猛的发展，在国防、军事和民用经济中 都有很大的应用。特别是无源声表面波传感器，适用于一些不能接触的特定环境如运动部件、高温、高压、 核辐射和许多不能有电源的危险环境的遥测和传感，具有很多普通传感器没有的优点。其中，谐振型声表面 波传感器具有很窄的谐振带宽和很高的Q值，自身损耗小，更加适合远距离的无源无线检测。 文献【1】介绍了一种用无源声表面波谐振器作为传感器的测量系统，但是该系统是采用开环控制，测量结 果的精度不高，而且无法在谐振器的参数发生变化时跟踪其变化。文献【2]介绍了一种通过外接一个谐振器进 行比较，从而跟踪谐振器的谐振频率变化的测量系统，但该系统构成复杂，硬件组成相当于一般测量系统的 两倍，成本很高。文献[3】介绍了一种用门控锁相环电路进行测量和跟踪谐振频率变化的测量系统，该系统使 用线性控制模型，跟踪带宽窄，需要人为干涉，实用性差。以上三种系统，都是使用模拟信号处理方法，用 硬件实现，信号处理精度低，特别是对于无源无线传感信号信噪比很低甚至极低的情况，无线测量的距离很 有限。 针对以前的无源无线声表面波传感测量系统构成复杂，调节控制灵活性差等缺点，本文采用了虚拟仪器 技术取代部分传统仪器，引入数字信号处理方法和反馈控制，降低了系统成本，提高了测量精度和测量距离。 结合通用计算机平台和数据I／O板卡，通过软件进行灵活的控制，可根据不同环境以及测量过程自动调节测 量参数，实现自适应检测。 2．声表面波谐振器传感原理 本文选用单端口声表面波谐振器作为传感器进行测量。它主要由压电基片、叉指换能器、反射栅组成， 基本结构如图l所示。 单端口谐振器只有一个叉指换能器，既作为输入又作为输出。 当电磁波信号激励谐振器时，叉指换能器进行电一声转换，产生声 表面波向两边传播，声表面波遇到反射栅时产生反射，并进行叠加， 产生驻波，叉指换能器再进行声一电转换输出电磁波。两个以声波 半波长为分布周期的反射栅阵列构成法布里．珀罗谐振腔，SAW谐 图l 单端口声表面波谐振器基本结构图 振器的谐振频率为 fo=吃矽／2d (1) 其中‰∥是声表面波的传播速度，d是反射栅之间间距。当被测物理量、化学量或者其他因素变化时，压电 基片的几何尺寸、材料常数、表面质量负荷会发生变化，‰∥和d都可能发生变化，从而引起石产生变化。 ’基金项目：固家自然科学基金资助项目。 52l 瞬态输出的过程，其输出的振荡频率不是激励信号的频率03而是谐振器的谐振频率03。【41。由于SAW谐振器 的谐振频率五的变化可以反映被测量的变化，因此，通过发射激励信号并查询分析传感信号可以完成对被测 物理量、化学量或者其他参量的测量，而SAW谐振器也不需要任何电源供电。 3．虚拟仪器测量系统 3．1硬件结构 测量系统结构如图2所示【5】【61。通用PC平台与数据I／O板卡，以及相应的软件程序构成虚拟仪器系统控 制的核心，不仅要产生开关控制信号和作为激励信号的低频本振信号，还要控制数据采集和处理，并根据处 理结果调整输出。 单刀双掷开关把系统工作分为两个部分：信号发射周期和信号接收周期，这两部分的时序是交替工作的。 在发射周期，开关置于1处，计算机和数据VO板卡输出低频本振信号，与固定高频本振经过混频器和功率 放大器输出，通过天线发射信号，激励谐振器产生声表面波，再进行声电转换输出传感信号：在接收周期