“微电子学概论”—ch10纳电子器件.pptVIP

纳米技术研究内容 纳米科技主要包含三个重要的支撑技术： 纳米材料: 无机纳米材料，有机纳米材料，复合纳米材料等； 纳米加工制造技术：微细加工技术，扫描探针加工技术，分子组装技术等； 纳米表征测量技术：经典的表征分析技术，扫描探针显微技术，单分子检测技术等。 纳米科技的核心思想是制备纳米尺度的材料或结构，发掘其不同凡响的特性，并对其进行研究。由此形成各类纳米科技研发领域. 纳米技术的主要特征 从材料发展的角度看，纳米材料的制备将更多地考虑分子设计、材料结构、表面等。 从纳米结构加工制造的角度看，传统的以三束（光子束，电子束、离子束）技术为核心的微电子平面加工技术仍扮演主要角色。同时，以原子、分子装配等为基础的分子组装技术也越来越受到重视。 对纳米对象的表征除了传统的观察测量技术，如谱学技术、电子显微镜技术外，采用了以STM（扫描隧道显微镜）、AFM（原子力显微镜）为代表的扫描力显微技术。 纳米器件将沿两条路线进行： 1）目前的微电子技术不断缩小加工尺度，为此需要发展新的功能材料和设计技术； 2）量子效应纳米器件。 扫描隧道显微镜 STM是基于导电的样品和针尖之间的隧道电流的大小与它们之间的距离的增大呈指数关系下降的原理造成的。 当针尖和样品距离小于1nm的时候，针尖中的电子波函数与样品表面的电子波函数交叠，当把针尖与样品之间加上偏压时，就可以使它们之间的电子流动，这种现象在量子力学里被称为隧道效应或隧穿，它们之间的电流被称为隧道电流。 STM就通过测量样品和针尖之间的隧道电流来工作。下面的公式表示了隧道电流和样品-针尖的距离之间的关系： I～Ve-cd其中，I是隧道电流，V是加在样品和针尖上的偏压，c是一个常数,d是样品-针尖之间的距离。 扫描隧道显微镜 当导电金属针尖距离导电物质表面足够近时（1nm），探针针尖和物质表面就会有隧道电流通过，微弱的隧道电流信号可以被电路放大，并准确记录。 隧道电流对样品表面之间的距离呈指数关系，根据量子理论计算，距离每减小0.1nm（一个氢原子的直径），隧道电流值会增加10倍。在探针扫描时，通过测量这种隧道电流的变化就可以记录下物体表面的起伏情况，再经计算机重建后就可以获得反映物体表面形貌的直观图象。 STM只能用于导体和半导体。 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 AFM的工作原理是通过用隧道电流检测力敏元件的位移来实现力敏元件探针尖端原子与表面原子之间的排斥力的监测，进而得到表面形貌。由于不需要在探针与样品间形成电回路，突破了样品导电性的限制，因而有更加广泛的应用领域。AFM达到了原子级分辨率。 AFM由探头、电子控制系统、计算机控制及软件系统、步进电机样品自动逼近控制电路四部分构成。 半导体激光器发出的激光束，经透镜会聚到微探针头部，微悬臂的尺寸大约100微米左右。由微探针反射回来，再经一反射镜到达光斑位置敏感器，转化为电信号后，再由前置放大器放大后送给反馈电路。 原子力显微镜 当探针在样品表面扫描时，由于样品表面起伏不平而使探针带动微悬臂弯曲变化，而微悬臂的弯曲又使得光路发生变化，最终导致照射到光敏检测器上的激光光斑位置发生移动。光敏检测器将光斑位移信号转换成电信号，经放大处理后，计算机通过ADC采集每个X，Y坐标点所对应的反馈电路输出值，再转化为灰度级在监视器上显示出扫描范围中样品的表面形貌。 碳纳米管（Carbon nanotube） 1991年才被发现的一种碳结构。 由碳原子形成的石墨烯片层卷成的无缝、中空的管体。石墨烯的片层一般可以从一层到上百层。 碳纳米管（Carbon nanotube） 含有一层石墨烯片层的称为单壁纳米碳管(Single walled carbon nanotube, SWNT)，直径一般为1－6 nm，最小直径大约为0.4 nm，SWNT的直径大于6nm以后特别不稳定，会发生SWNT管的塌陷，长度则可达几百纳米到几个微米。因为SWNT的最小直径与富勒烯分子类似，故也有人称其为巴基管或富勒管。 多于一层的则称为多壁纳米碳管( Multi-walled carbon nanotube, MWNT)。SWNT的MWNT的层间距约为0.34纳米，直径在几个纳米到几十纳米，长度一般在微米量级，最长者可达数毫米。 由于纳米碳管具有较大的长径比，所以可以把其看成为准一维纳米材料。 纳米材料的四大效应 小尺寸效应 量子尺寸效应 表面效应 宏观量子隧道效应 当超细微粒的尺寸与光波波长等物理特征尺寸相当或更小时，晶体周期性的边界条件将被破坏；非晶态纳米微粒的颗粒表面层附近原子密度减小，导致声、光、电、磁、热、力学等特性呈现新的效应。 当金属粒子尺寸下降到某一值时，金属费米能级附近的电子能级由准连续变为离散能级的现象，并且纳米半导体