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第五章 纳米材料的制备方法 教学目的:讲授纳米微粒的制备方法及其原理 重点内容: 气相法制备纳米微粒 (气体冷凝法,氢电弧等离子体法、化学气相沉积法) 液相法制备纳米微粒 (沉淀法,水热法,溶胶凝胶法、模板法) 难点内容: 气相法和液相法合成纳米材料的成核和生长机理。 了解内容:溅射法、喷雾法、真空蒸镀法、通电加热法、固相法等 主要英文词汇 thermal evaporation, arc-plasma, chemical vapor deposition, precipitation, hydrothermal, sol-gel。 纳米微粒的制备方法分类: 1. 根据是否发生化学反应,纳米微粒的制备方法通常分为两大类:物理法和化学法。 2. 根据制备状态的不同,制备纳米微粒的方法可以分为气相法、液相法和固相法等; 3. 按反应物状态分为干法和湿法。 大部分方法具有粒径均匀,粒度可控,操作简单等优点; 有的也存在可生产材料范围较窄,反应条件较苛刻,如高温高压、真空等缺点。 §5.1 气相法制备纳米微粒 1. 定义: 气相法指直接利用气体或者通过各种手段将物质变为气体,使之在气体状态下发生物理或化学反应,最后在冷却过程中凝聚长大形成纳米微粒的方法。 2.优势: 气相法通过控制可以制备出液相法难以制得的金属碳化物、氮化物、硼化物等非氧化物超微粉。 3. 加热源通常有以下几种: 不同的加热方法制备出的超微粒的量、品种、粒径大小及分布等存在一些差别。 1)电阻加热; 2)高频感应加热; 3)激光加热; 4)电子束加热; 5)微波加热; 6)电弧加热。 A 电阻加热:(电阻丝) 电阻加热法通常使用螺旋纤维或舟状的电阻发热体。如图 加热材料: 金属类:如铬镍系,铁铬系,温度可达1300℃; 钼,钨,铂,温度可达1800℃; 非金属类:SiC(1500℃), MoSi2 (1700℃),石墨棒(3000℃)。 两种情况不能使用这种方法进行加热和蒸发: ① 发热体与蒸发原料在高温熔融后形成合金。 ②蒸发原料的蒸发温度高于发热体的软化温度。 目前这一方法主要是进行Ag、Al、Cu、Au等低熔点金属的蒸发。 电阻发热体是用Al2O3等耐火材料将钨丝进行包覆,熔化了的蒸发材料不与高温发热体直接接触,可以用于熔点较高的金属的蒸发:Fe, Ni等(熔点~1500?C)。 由于产量小,该法通常用于研究。 B 高频感应加热: 高频感应加热是利用导体在高频交变电磁场中会产生感应电流(涡流损耗)以及导体内磁 场的作用(磁滞损耗)引起导体自身发热进 行加热的。类似于变压器的热损耗。 高频感应加热优点: 不存在加热元件的能量转换过程而无转换效率低的问题; 加热电源与工件不接触,因而无传导损耗; 加热电源的感应线圈自身发热量极低,不会因过热毁损线圈,工作寿命长; 加热温度均匀,加热迅速、工作效率高。 采用高频感应加热蒸发法制备纳米粒子的优点: 高频感应引起熔体发生由坩埚的中心部分向上、向下以及向边缘部分的流动,温度保持相对均匀恒定,熔体内合金均匀性好。 粒子粒径比较均匀、产量大,可以长时间以恒定功率运转,便于工业化生产等。 缺点是:高熔点低蒸气压物质的纳米微粒(如:W、Ta、Mo等)很难制备。 C 激光加热:Smalley 将具有很高亮度的激光束经透镜聚焦后,能在焦点附近产生数千度乃至上万度的高温,此高温几乎可以融化掉所有的材料。 原理: 当激光照射到靶材表面时,一部分入射光反射,一部分入射光被吸收,一旦表面吸收的激光能量超过蒸发温度,靶材就会融化蒸发出大量原子、电子和离子,从而在靶材表面形成一个等离子体。 等脉冲激光移走后,等离子体会先膨胀后迅速冷却,其中的原子在靶对面的收集器上凝结起来,就能获得所需的薄膜和纳米材料。 激光加热蒸发法制备纳米粒子的优点: (1) 激光光源设置在蒸发系统外部,不会受蒸发物质的污染; (2) 激光束能量高度集中,周围环境温度梯度大,有利于纳米粒子的快速凝聚。 (3) 调节蒸发区的气氛压力,可以控制纳米粒子的粒径。 (4) 适合于制备各类高熔点的金属纳米粒子。Fe, Ni,Cr,Ti,Zr,Mo,Ta,W。 (5)在各种活泼性气体中进行激光照射,可以制备各种氧化物、碳化物和氮化物等陶瓷纳米粒子。 D 电子束轰击: 在高加速电压的电子枪与蒸发室之间产生差压,使用电子透镜聚焦电子束于待蒸发物质表面,使物质被加热、蒸发、凝聚为纳米粒子。 优点: 用电子束作为加热源可以获得很高的能量密度,特别适合于用来蒸发W、Ta、Pt等高熔点金属,制备出相应的金属、氧化物、碳化物、氮化物等纳米粒子。 缺点:通常在高真空中使用。 E 微波加热 微波是频率在300兆赫到300千兆赫的电磁波(波长1米?~1毫米)
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