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掃描探針顯微術於奈米尺度微影之應用 文／蘇健穎、周曉宇、陳至信 摘 要 自從掃描探針顯微術（SPM）問世以來，探索原子尺度的微觀面貌不再需要經由繁瑣的程序而得。除此以外，SPM更進一步增加了對於奈米尺度之表面操縱與圖案成形的能力，其中以原子力顯微術（AFM）與掃描穿隧顯微術（STM）為主。這項技術會引起注意的原因，來自於SPM可相當準確地直接於樣品表面進行奈米刻痕或微影，並且對於探針的位移可得到良好的操控。這是除了電子束曝光與化學濕蝕刻以外，另一項有利的選擇工具。 一、前言 掃描探針顯微術（SPM, scanning probe microscopy），是各種以探針方式研究樣品表面性質（例如：表面形貌、電性、磁性、力學特性(((等）的顯微術總稱。其中被應用最廣泛的是STM（scanning tunneling microscopy）與AFM（atomic force microscopy），解析能力達到原子級。 STM於1981年由IBM公司Dr. Gerd Binning和Dr. Heinrich Rohrer 共同發明。1986年兩人與Dr. Ernst Ruska 共同獲得諾貝爾物理獎。STM是藉由量測探針針尖與樣品表面的穿隧電流變化，所產生微小區域表面形貌的影像。STM操作的條件必須在真空下，而且樣品需是導體。 AFM則是利用探針尖端與試片表面的作用力，即凡得