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2017-03-29 发布于江苏
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SEM tilt compensation

Confidential Proprietary Chiafang, Tsai Confidential Proprietary S-3400 硬體操作介面 S-3400 軟體操作畫面 Outline 速度 : 慢速度 : 中速度 : 快 1 2 3 4 5 6 7 1.旋轉 2.工作距離 3.斜角 4.窄台移動速度 5.歸回原始位置 6.輸入 7.移動窄台搖桿 A.電子槍移動 B.放大倍率 C.像差調整 A B C D E D.明暗、對比調整 E.焦距調整 S-3400 硬體操作介面 S-3400 軟體操作主畫面加速電壓電子槍開關電流停止掃描鈕即時影像慢速掃瞄部分畫面自動明暗對比自動對焦像差放大倍率擷取影像(積分) 擷取、儲存影像抽真空開關波行監測真空度低高 EDS 標準工作距離工作距離電以槍開關掃描模式選擇螢幕顯示偵測器選擇影像旋轉訊號處理繪圖、量測功能 Tilt 0O Tilt 75O Tilt Images comparison Tilt 0O Tilt 30O Tilt 60O Tilt 75O 大家來找碴 Tilt 0O Tilt 75O Tilt compensation Tilt comp. 0 Tilt comp. 70 Tilt 75O Tilt 75O Dynamic Focus Tilt 0O Tilt 75O Dyn. Focus -100 Dyn. Focus 100 Just focus Over focus Under focus Tilt 75O Tilt 75O Dyn. Focus -100 Dyn. Focus 100 Just focus Under focus Over focus Tilt Dyn. focus Ucentric height Confidential Proprietary Chiafang, Tsai Confidential Proprietary