纳米压入法测试薄膜力学性能的若干关键影响因素分析.pdfVIP

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  • 2017-04-04 发布于北京
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纳米压入法测试薄膜力学性能的若干关键影响因素分析.pdf

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JoomaI of Mecbanical S阳呐 轧略峰率 2皮斤,2雪(5) :737 -744 纳米压入法测试薄肆力学性能的若干关键影踊因素分茬 因VESTIGATION ON SEVERAL CRUC弘L FACTORS 剖FLUENCING THE 岛伍ASURE岛IENT OF :MECHANICAL PROPERTIES OF THIN FIL岛E BY NANOINDENTATION TECHNIQUE 男同阳**1.2 蒋?德1,2 王海容1 ,2 蒋志强2 (1.机械制造革统工程国家重点实验室,西安 1J(润的 (2,西安交通大学精密工程研究所,西安 71C阳 ZHOU XiangYang J队NG zt随ngDe, .2 WPJo唱G HaiRong,.2 J队NG ZhiQiang (1.如居岛, I.ahora甜可知 Manuj昭un,尊咎由nEi唔11四吨,足部 71仅剧, αina) (2. lns楠出 q仍eCùion Ei带回吨, Xzr拥 J山阳苍 University , 态如 71拙9, αina) 费量要 纳米压入法是目前薄摸等小体积脏殴牵引皿四H趾tro-n回国?cal 可由血)材料力学位能评定广为使用萄方法, 其测试哥靠性严重依赣于仪器校准及对各种误差影响因素的消除和穆正。文中以 Olive鲁pharr数学评定模型为基础,对 包括仪器柔度、莲尖几何形状镇差、初始接触点位移、尺寸效应、基察、堆积顽I!!I宿、黯变、表面程槌度等在内的薄摸弹性 摸量和硬度纳米压人黯试对的若于关键影响因素进行分析。在此基础上,分别给出相应的处理办法辛苦数据修正措施。 研究表明,只有综合考虑这些因素豹影响,方能获得准确的薄膜本益方学性能参数。 关键词皇由来压入薄膜弹性模量硬度到试误差影璃窗素 牢固分类号 0484.5 凶43 1巳115.5 Ah!由百:t Nar四n缸臼画册如站在明.lS阳W Wl出Iy 自ed in evalu血唔哇.,~pr丐E它国 d盟副I VOIUme ma阳运s 恒时.00- mg 隘n films 如 MEMS (四cro-曲曲号回回hanical 可stem) 叩乒.ieati.ons. H拥H世,佳1e relia凶i守 ofd览醉,,]田回国sul.. 由扭曲回L q揭Iy程1 d.,哇回去:vance of笃配iaI回国副阻隔缰捕世i缸睛却时即eIiU由四四 ofw世面rerl 描ne盟窟,也阳军I crucial mfluencing fac圃 z曲曲毫也。由e elTOIS皿趾盹瞄跚跚归 ofha血写理事哇啦血c 田划时血与Qli and pharr mdlwd 晒E甜甜事时,到血据国曲也- 配且旺时i.,醋, ripblw曲唱,国aI曲同lofpe田但由帽,晒 dfect , .由国栓,国eriaI同叫灿k-血, creep 时由岛国m乎mess, etc. Th扭,曲 corr回阳唾吨申梧画,..d d.,se pr过矗黯回国pemnel出忽哇~咽白兔ngn回如lsin d.血 F四万ssu惠阳陀 F辅咀d sepor硝基y. The酬d比如叫a牵挂揭 .k可垣翻血d., accura胆固配如血.ea1 properties of血面篮咱也磁趾面缸回 mfl=四有E如国B areof可略目llC oonsider茸íon 皿国黯届四坦丘阻配面回回m旬, 直可 W回由 N?:盟画曲盟a届理;古曲IiIm,El插曲酣睡曲酌HanI黯嚣; Me;盟1f回回Jt error; IDfh.田由可g- 6万7由ipamJi唔由d田二 ZHOU X国咱YlU窜, ιmaiI:明吞阻@ 163. 由隅 , Te!: + 段弘2垂-82t插在岳\6-15号. F,国: + 86-29- E友面挺12 在 pruJ酣蜡P同时与KeyPr咱四lof~N阳回 Natund Science抽血ofQ垂血泪。.直直到粥, Gener司应咂四.of ~ NaI且皿i 加a.J挝ence Fou班回00 of 也国 (Nι 如俗剧) and ~ Natí叫拖拉Res回由岛嘈瞌 ofQ明(No. 2αl4CB61930垂L 她皿JSCr衫配eived 2005112草,面 revi时 foon 互lO704lO. 1 引言 可靠性是微电子机械系统(皿cro-el昭ro-mec沁nical 町草酬,段EMS)及微装置走向实际应用及产业化的关 键。单{多)品硅、氮化硅及各矜金属薄膜是挺Ei\iS 系 统及各种微装置的重要组成部分,为了使 ME踏系统 具有良好的使用寿命,需要准确了解薄主要的各矜力学 性能f2410 然而自于薄膜的厚度一放只有几百纳米到 几千纳米:41 ,尺寸效应和结构尺寸的限制,

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