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- 2017-04-04 发布于北京
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纳米压入法测试薄膜力学性能的若干关键影响因素分析.pdf
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纳米压入法测试薄肆力学性能的若干关键影踊因素分茬
因VESTIGATION ON SEVERAL CRUC弘L FACTORS 剖FLUENCING
THE 岛伍ASURE岛IENT OF :MECHANICAL PROPERTIES OF THIN FIL岛E
BY NANOINDENTATION TECHNIQUE
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(2,西安交通大学精密工程研究所,西安 71C阳
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费量要 纳米压入法是目前薄摸等小体积脏殴牵引皿四H趾tro-n回国?cal 可由血)材料力学位能评定广为使用萄方法,
其测试哥靠性严重依赣于仪器校准及对各种误差影响因素的消除和穆正。文中以 Olive鲁pharr数学评定模型为基础,对
包括仪器柔度、莲尖几何形状镇差、初始接触点位移、尺寸效应、基察、堆积顽I!!I宿、黯变、表面程槌度等在内的薄摸弹性
摸量和硬度纳米压人黯试对的若于关键影响因素进行分析。在此基础上,分别给出相应的处理办法辛苦数据修正措施。
研究表明,只有综合考虑这些因素豹影响,方能获得准确的薄膜本益方学性能参数。
关键词皇由来压入薄膜弹性模量硬度到试误差影璃窗素
牢固分类号 0484.5 凶43 1巳115.5
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1 引言
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町草酬,段EMS)及微装置走向实际应用及产业化的关
键。单{多)品硅、氮化硅及各矜金属薄膜是挺Ei\iS 系
统及各种微装置的重要组成部分,为了使 ME踏系统
具有良好的使用寿命,需要准确了解薄主要的各矜力学
性能f2410 然而自于薄膜的厚度一放只有几百纳米到
几千纳米:41 ,尺寸效应和结构尺寸的限制,
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