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第11章节电子显微图像的解析
第 十 一章 电子显微图象的解释
安徽工业大学材料科学与工程学院?
袁 晓 敏 联系电话: 2311615
E-mail:yuan2400615@
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前 言
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11.1 电子显微镜的图像分析-质厚衬度
衬度:被眼睛或各种记录材料所能区分的光强
度的差别。
对于透射电子显微镜来说,图像来源于电子与物质的相互作用。而图像的衬度来源于各部分物质与电子相互作用后投射到荧光屏上或是底片上电子强度的差别。
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11.1.1 一个原子与电
子的相互作用
当一个电子射向原子时,由于受到核内电场的作用而发生散射,如图所示:
设:
rn 为电子距核中心的距离,称瞄准半径.
α 为散射角
经计算:
电子受原子的散射示意
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讨论:
(1) Z越大,α越大。即原子序数越大的原子对电子
散射能力越大,大角度散射的电子就越多。
(2) rn越小,α越大。即当原子密度大时,瞄准半径
就越小,对电子散射能力越大,就是说原子密度
大的材料产生大角度散射的电就越多。
当在原子后面加一光栏时,那么所能通过电子最大散射角α就确定了。
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电镜衬度像的形成示意
为了确保透射电子显微镜的高分辨本领,采用小孔径角成像。它是通过在物镜背焦平面上沿径向插人一个小孔径的物镜光阑来实现的,如图所示。结果,把散射角大于α的电子挡掉,只允许散射角小于α的电子通过物镜光栏参与成像。当在原子后面加一光栏时,那么所能通过电子最大散射角就确定了,如图所示 :
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11.1.2 质厚衬度
定义:
质厚衬度——对于无定形或非晶体试样,电子图像是由于试样各部分的密度、质量Z和厚度t不同形成的,这种衬度称之为质厚衬度.
厚度不同:
原子序数不同:
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11.1.3 复型样品衬度的改善
对于复型试样来说,其衬度来源主要是质厚衬度。复型膜试样虽有一定的厚度差别,但由于整个试样的密度、质量基本一样,衬度很小。一般的情况,通过以一定的角度投影(蒸发)密度较大的重金属原子,如Cr、Au等,以增加试样不同部位的密度、质量的差别,从而大大改善图像的衬度。
二级复型喷碳及投影示意
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11.2 晶体材料的图像衬度
11.2.1 概述
TEM是作为高放大倍率的显微镜产生的,但在初期由于加速电压的限制,仅限于对材料进行间接的、半间接的样品进行分析:
间接的样品 —— 复型
半间接的样品—— 萃取复型
其次:TEM的显微图像不是实际样品的直观反映。
由于没有正确的理论指
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