扫描探针刻蚀技术的机理分析及进展.pdfVIP

扫描稼针剃徐教水份机3室令祈众进展 江苏大学机械学院微纳米技术研究中心 (212013) 蒋洪奎 范真 浙江师范大学 (321019) 蒋洪奎 姚汤伟 钟俊坚 朱春耕 E摘要】文章综述了扫描探针刻蚀技术的最新研究进展，并介绍了扫描探针刻蚀加工机涩。 关键词扫描探针刻蚀加工机理进展 The Current Development and Mechanisms of Scanning Probe Lithograph Abstract This paper summarized the current development of scanning probe lithography and introduced the mechanisms of forming nanometer structure. Keywords scanning probe , lithography. mechanism. development 中图分类号:TH742.9 文献标识码:A 扫描探针显微镜(SPM) 是指一系列利用探针 属膜表面进行机械刻蚀加工。 在机械刻蚀加工过程中产生的刻屑与针尖的曲 作为探测工具，在样品表面扫描成像获得表面信息 率半径通常限制了纳米结构的分辨率。复合图形及 的显微镜的统称。自 1982 年 Gerd Bining 和 Hein rich Roher 发明第一台扫描探针显微镜一一扫描隧 三维立体的加工，则表征了对纳米级厚度材料去除 技术的控制水平，同时也是微机械发展的需要，有着 道显微镜以来，已相继出现了多种扫描探针显微镜。 实际意义。在这方面的试验研究，如法国的 S. Te- 按其不同的成像机理，扫描探针显微镜大致可分为 gen 和德国的 B. Krache 镀在云母上的薄金膜上加 隧道显微镜、原子力显微镜、热显微镜、电子发射显 工出直线和圆山。北京大学的陈海峰课题组在 Au 微镜、离子导电显微镜及近场光学显微镜等。扫描 Pa 合金膜上使用 DI 公司 125 nm 的 Si 针尖，施加 探针显微镜不仅是一种可直接观察到物质表面的微 20μN 作用力在 100 nmX 100 nm 范围内刻画出唐 观形貌的高精度显微工具，还是一种可以在微纳米 诗和北大校徽，深度 2 nm，最小线宽为 2 nm[4J 0 J • 尺度上对样品表面进行刻蚀的加工工具。专家预 M. Lee 等采用金刚石针尖在金属表面上加工出了 测， SPM 在工业领域中的市场，将大大超过其在科 三维台阶[5J 。 研与教学领域中的市场，超越了作为认识世界的显 微纳米器件的加工也是机械刻蚀技术应用的一 微镜的意义，成为创造财富的纳米机器。 个重要方面。 Bouchiat 等人利用 AFM 针尖在硅片 扫描探针刻蚀技术CSPL)是基于 SPM 进行纳 上的高分子膜上机械刻蚀制造出了单电子晶体