第三章先进制造工艺技术(超精密加工)讲述.ppt

精密及超精密加工技术 精密和超精密加工定义： 加工精度(μm) 粗糙度(μm) 一般加工 1 精密加工 0.1~1 0.2~0.1 超精密加工 <0.1 <0.01 纳米加工 <0.001 <0.005 超精密加工有车、铣、磨、抛（光）、研、电物理及电化学等不同的工艺方法，目前应用最为广泛的是车、磨、研、抛工艺。 重要性和必要性 超精密加工技术是发展高新技术和产品的关键技术，如球度要求0.2?m的人造卫星姿态控制用的?120mm的过半球、形状误差要求小于0.1?m空对空导弹红外接收器的外球面反射镜、平面度0.05?m激光陀螺反射镜、表面粗糙度Ra0.01～0.02?m红外反射镜及激光制导反射镜、平面度0.1?m计算机磁盘及磁头、平面度0.04?m及反射率85～90%的激光印刷机和静电复印机及激光热处理的多棱镜、精密仪器和机床的超精密零件等等。 精密、超精密加工技术是提高机电产品性能、质量、工作寿命和可靠性以及节材节能的重要方法和保证。如提高汽缸和活塞的加工精度，就可以提高汽车发动机的效率和功率，减少油耗；提高滚动轴承的滚动体的滚道的加工精度，就可以提高轴承的转速，减少振动和噪声；提高磁盘加工的平面度从而减少它与磁头间的间隙，就可以大大提高磁盘的存储量；提高半导体器件的刻线精度（减少线宽，增加密度），就可以提高微电子芯片的集成度。 由此可知，超精密加工技术的高低，不只是一个国家制造技术水平的标志，也是一个国家的国力和国威所在。没有高超的加工技术，就不会有高超性能和质量的机电产品，更没有现代化的国防工业，海湾战争已充分证明了超精密加工技术的重要性。在未来世界的技术竞争中，超精加工技术起着关键的作用。 (三) 现状及发展趋势 ⒈ 国外现状 美国是开展超精密加工技术起步最早的国家，迄今仍处于世界领先地位。在第二次世界大战期间就开始研究，到六十年代形成了超精密机床的商品化，如加工激光核聚变炉的反射镜，加工战术导弹及载人飞船等零件的超精密机床。至80年代，超精密机床综合技术趋于成熟。如LLNL实验室（Lawrence Livermore National Laboratory）受美国国防部委托研制的大型光学零件金刚石车床，可加工?1620mm、长508mm、重达1350Kg的工件，该机床采用了多项新技术，使在整个加工空间中的定位精度高达0.028?m（均方根值）。 英国也是较早从事精密、超精密加工技术研究的国家之一，Cranfield理工学院是迄今仅有的也能制造出用于大型超精密加工机床的高刚度（大于2000N/?m）精密气浮主轴系统的单位，而且80年代初受SERC的委托还研制出了加工X射线天体望远镜筒的大型数控金刚石车床，最近又推出了OAGM2500和Nanocenter250超精密加工设备，分辨率高达11.25nm，也属世界领先水平。 日本起步较晚，但发展较快，研究成果也很快发挥了作用。 它发展超精密机床不是走美国“先军后民”的道路，而是从民用工业的需要去发展，如为了发展计算机、录像机、复印机等产品而研究加工磁盘、光盘、磁鼓、多面棱镜等超精密机床。由于民用工业向精密化发展，生产超精密机床的企业、公司逐年增加，并投入大量人力、物力去开发，有计划地引进先进技术并深入解剖。因此在发展速度上迅速追上美国，而且在技术上可以与美国相抗衡。 　　除美国、英国、日本外，荷兰、德国等也投入很大力量进行精密、超精密加工的研究。 ⒉ 国内现状 　　我国超精密加工的研究起步并不晚，但是发展较慢，直到80年代才取得一定进展。如沈阳第一机床厂生产的S1-235型金刚石车床（主轴回转精度0.15?m、加工精度0.3?m/?60）；1984年上海理工大学（原上海机械学院）先后研制出主轴回转精度0.01?m的精密轴系，应用于上海仪表机床厂的HY-026型超精密车床（加工工件圆度0.1?m)、高精度数控车床（加工工件圆度0.5?m）；北京机床研究所的超精密车床、铣床以及最高分辨率0.02?m的CNC数控超精密车床；中国航空精密机械研究所的模块化超精车床（全部花岗石材料制造，加工精度小于0.1?m）等。总的看来，有色金属的金刚石车削、铣削以及黑色金属的磨削已初步达到了超精密水平，但在效率、可靠性、特别是规格（大小尺寸）和技术配套方面与国外比、与生产实际要求比，还有相当的差距。对硬、脆的非金属和半导体材料表面的超精密加工技术的研究则刚刚起步，在这方面我们与国外的差距更大。 ⒊