激光显微共焦拉曼光系统 附件一.doc

激光显微共焦拉曼光谱系统 附件一 一．货物需求： 显微共焦拉曼光谱仪系统一套。 二．详细技术参数： 系统的主要技术指标： 1) 250mm焦长，系统总通光效率大于30%。 2）波长范围：200nm—1050nm。 3）光谱扫描范围： 325nm 激发Raman(200-4000cm-1)，532nm 激发15–8000 cm-1，632.8nm 激发100-6000 cm-1，785nm 激发15-3200cm-1,1064nm激发100-3200 cm-1。 4）光谱分辨率：可见全谱段等于或小于1cm-1, 紫外(325nm)段3cm-1，红外（1064nm）段3cm-1。 5）光谱重复性（测量多少次50次）：≤±0.15cm-1。 6）空间分辨率：横向 0.5微米 ，光轴方向 2微米。 7）灵敏度：硅三阶峰信噪比好于 15: 1,并可见四阶峰；(指光谱仪无低波数附件时的灵敏度)。 8）低波数：小于或等于15cm-1(785nm激发)，15cm-1(532nm激发)； 9) CCD探测器：应使用近红外增强深耗散层型CCD探测器，优质芯片，半导体-70oC,为确保图像质量，芯片尺寸 13×8.5mm，像元尺寸 (m。×、20×、50×和100×物镜，15×和40×紫外物镜. 2、配置50x长焦物镜（WD8.1 mm）和100x长焦物镜（WD3.4mm） 3、彩色摄像头， 4、XY 手动样品台 5、显微镜摄像机可观察紫外激光光斑 含反、透射照明系统（含聚光透镜） 二、光谱仪 要满足低波数、高灵敏度、高分辨率要求，尽量同时满足低波数、高灵敏度、高分辨率要求，详见以下指标： 拉曼频移范围：325nm 激发200-4000cm-1，532nm 激发15–8000 cm-1，632.8nm 激发100-6000 cm-1，785nm 激发15-3200cm-1,1064nm激发100-3200 cm-1。 2、 焦长≥250mm，通光效率≥30% 3、 高灵敏度：硅三阶峰的信噪比好于15:1，并能观察到四阶峰，要求灵敏度尽量高。 检测条件：使用单晶硅片，波长532nm，到样品上功率10mW，狭缝宽度（或针孔）小于50微米，光栅大于等于600g/mm，曝光时间100 秒，累加次数3 次，binning等于1。显微镜头为X100倍。 4、 光谱重复率：≤ ±0.2cm-1 5、 光谱分辨率：可见全谱段=1cm-1, 紫外(325nm)全谱段3cm-1,红外（1064 nm）全谱段3 cm-1 要求光谱分辨率尽量高。 6、 光谱分辨率和灵敏度的综合性能：在满足1cm-1分辨率时的灵敏度需尽量高，在=1cm-1分辨率条件下硅三阶峰的信噪比好于10:1。 7、 配有分别满足紫外和可见光测量的光栅，而且能分别满足高分辨及高灵敏测量。光栅能由软件控制自动转换。 8、光谱仪每个波长（325nm、532nm、633nm、785nm和1064nm）都必须配2片Edge滤光片及一片干涉滤光片。 三、CCD探测器 1、 光谱范围220–1100nm 2、半导体制冷（小于等于-70℃） 3、紫外-近红外增强高质量CCD 4、量子效率：在600nm处50%，在300nm 处30%（见响应文件的响应曲线） 5、 暗噪声0.005 电子/秒/像元 6、 读出噪声7 电子/像元 四、共焦技术 1、具备共焦性能。 2、空间分辨率横向（光斑直径）小于0.5 μm，纵向小于2μm，共焦深度连续可调奔腾20x常规焦距暗场镜头，NA：0.50，WD：1.27mm 50x常规焦距暗场镜头，NA：0.80，WD：0.37mm 100x常规焦距暗场镜头，NA：0.90，WD： 0.29mm 50x长焦距暗场镜头，NA：0.50，WD：8.1mm 100x长焦距暗场镜头，NA：0.75，WD：3.7mm 3、TCSPC系统 4、532nm和785nm波长均配拉曼偏振测量附件 5、4GHz高速示波器，4通道 6、超连续白光激光光源，总功率4W，脉冲重复频率40 MHz，单波长功率2mW，400nm～2200nm，含声光调制光栅； 7、脉冲激光光源，532 nm/266 nm，脉宽10 ns； 8、连续激光光源，808 nm、473 nm、403 nm； 7、锁相放大器及斩波器； 高精度电流源表（双通道，2台）； 八、与扫描电镜耦合部件 特殊设计的SEM/Raman接口允许扫描电镜成像和拉曼光谱采集在SEM样品仓内同时进行，首次实现在SEM上原位测试样品化学结构信息。在不进行拉曼采集时，拉曼元件可收回，完全不影响SEM任何功能。 双波长SEM-Raman接口装置 内置的计算机控制的显微摄像头 集成计算机控制的照明光源，允许同时观察样品白光照明情况和激光光斑。 采