触摸屏工艺技术之黄光工艺讲述.ppt

黄光制程简单介绍 辉煌数载 感谢有你 专业TP LCD招聘求职网- 一览光电英才网 目录 What to do？要做什么？ How to do?怎么做？ What’s the matter?怎么了？ 当前市场上主要的触控屏种类 电阻式 电容式 红外线式 表面声波式 就是它了…… 当手指触摸屏表面时，就会有一定量的电荷转移到人体。为了恢复这些电荷损失，电荷从屏幕的四角补充进来，各方向补充的电荷量和触摸点的距离成比例，我们可以由此推算出触摸点的位置 电容式触控屏是一块四层复合玻璃屏，玻璃屏的内表面和夹层各涂有一层ITO（镀膜导电玻璃），最外层是一薄层矽土玻璃保护层, ITO涂层作为工作面, 四个角上引出四个电极，内层ITO为屏蔽层以保证良好的工作环境。 ITO Metal PI 透明导电材料 光阻绝缘层 Mo/Al/Mo结构 有一种东西叫： 我们的目标是： 让Sensor在X和Y方向上各自独立地导通 1.任何触控屏，要对Touch这个动作作出反应，必须对触摸点进行定位； 2.TPK产品是一个二维平板，需要X和Y两个坐标进行定位； 3.TPK产品属于（投射型）电容式触控屏，感应电容触摸屏检测到的触摸位置对应于感应到最大电容变化值的交叉点，对于X轴或Y轴来说，则是对不同ITO模块的信号量取加权平均得到位置量，系统然后在触摸屏下面的LCD上显示出触摸点或轨迹。 Sensor 认识一下Sensor 图中网状图形称为pattern 返回 金手指 黄线部分称为Trace 浅色部分在X方向上导通 深色部分在Y方向上导通 放大 当前主要的技术路径 Bridge Via hole 正制程： Pattern ? PI ? Jumper （＋Trace） 反制程： Jumper ? PI ? Pattern ? Trace 结果是等效的 来料玻璃 常见尺寸：370×470mm 厚度则有0.33、0.4、0.5、0.55、1.1、1.3mm不等 Sheet 粗略的生产流程： pcs 一路OK Boding、贴合等白光制程 最终成品！ 黄光制程： 来料玻璃 ITO、Metal、PI制程 Passivation （Organic） 蚀刻膏印刷/可剥胶印刷 切割 黄光制程到此结束 作出所需的图形 为Sensor提供第一层保护 为黄光后的工序作准备 黄光制程由此开始 什么是黄光？ 光阻塗佈 曝光 顯影 烘乾 清洗 整个制程的相关示意图-1 PI和Passivation制程只需到这一步 微影技术！ 蝕刻 剝膜 檢查 整个制程的相关示意图-2 ITO和Metal制程仍需继续进行以下几步： ITO Patterning Flow ITO Patterning Glass Cleaning IR/UV/CP PR Coating Pre-Bake Pattern Exposure Developing Etching Back side PR Coating Stripping Post-Bake PI / Organic Patterning Flow PI Patterning Glass Cleaning IR/UV/CP PR Coating Pre-Bake Pattern Exposure Developing Oven Metal Patterning Flow Metal Patterning Glass Cleaning IR/UV/CP PR Coating Pre-Bake Pattern Exposure Developing Post-Bake Etching Stripping Process flow 工艺流程 各制程效果图 (以Spark为制版) 主要机台和常用药液 清洗设备 曝光设备 涂布机： 分为： Roller式 Slit式 Spin式 清和曝光机 DNK曝光机 限于篇幅，仅举部分实例！ 常用药液 序号 项目 备注 1 清洗液 FIisher 2000-5A（环保清洗剂） Metal制程不使用 2 清洗液 FPD-120 所有制程均可使用 3 PR coating使用光阻 另述 非常重要，品种繁多 4 显影使用显影液 TMAH（氢氧化四甲铵） KOH（氢氧化钾） 5 AI 蚀刻液 PAE85-2-13（磷硝醋混酸） 6 ITO 蚀刻液 草酸 酸性较弱，用于低温ITO 7 ITO 蚀刻液 PE-560(HCl+KCl) 效果较强 8 ITO剥膜液 NaOH/KOH 序号 项目 备注 9 Metal 剥膜液 NMP溶液/3316剥膜液 10 Metal光阻残留擦拭药液 丙酮 11 擦拭设备 异丙醇/无水乙