静电防护(ESD)问题幻灯演示_03.pptVIP

静电放电（ESD）及其防护 主讲：林秀华 厦门大学物理与机电工程学院 1 内容安排 0、引言 1、静电的产生 2、静电放电（ESD）效应物理机制 3、洁净车间、机房的静电表现 4、IC. MOS.FET.GaN－ LED 失效分析 5、ESD 危害与防患措施 6、电子产品的静电防护 7、ESD 问题和思考 2 0、引言 0．1　静电的基本概念 静电是一种客观的自然现象，由于电荷和电场分布而产生的； 静电现象：电荷的产生和消失过程的电现象； 物体结构－分子－原子； 空气中含有 100 至 500 个带电离子/cm3 ； 地球是个巨大的电场 E≥130V/m，带电云层经过后10000V/m ； 静电与日常用电的异同点。 静电放电全称（ElectroStatic Discharge／ESD） ； 3 0．2　静电主要现象 静电力学现象：静电引力、静电排斥力。 静电感应现象：静电噪音、机器损耗、自控失灵、静电屏蔽、电路不良等。 静电放电现象：雷鸣电闪、静电噪音、电子元器件、 pn 结击穿等。 0、引言（续） 4 1、静电的产生 1．1　静电放电效应（ESD）内因 分子－原子－原子核（核）－感应 荷电性质 正电荷 　　负电荷 不同质材 聚四氟乙烯 聚乙烯 聚丙烯树脂 聚亚胺酯 醋酸纤维 硬橡胶 木　材 棉　花 纸　张 铝 丝　绸 铅 羊　毛 尼　龙 头　发 云　母 石　棉 空　气 表一：物体摩擦带电电序表： 5 1、静电的产生（续一） 1．2　静电放电效应（ESD）外因 物体相对运动引起（摩擦、位移、接触、冲击） 生产工艺:挤压、切割、搅拌、过滤、喷溅、流动 生活中的行走、起立、穿脱衣服、推拉物体 雷电放电（雷云间或雷云与地面物体） 6 1、静电的产生（续二） 静电来源 湿度 10-25%RH 湿度 65-90%RH 行走在地毯上 35000V 15000V 行走在胶地板上 12000V 250V 在工作台上操作 6000V 100V 捡起塑料胶袋 20000V 1200V 推动发泡胶椅子 18000V 1500V 表二：ESD 的来源： 7 2、静电放电效应物理机制 2．1　三种不同材料（导体、半导体、绝缘体） 表三：性质比较： 电阻率(Ω · cm) 静电感生电荷 表面 导体 10 　电荷可自由移动，电荷易在表面重新分布 等势面（有规则形状电荷均匀分布） 半导体 10-1－109 本征半导体（不掺杂）较易受静电影响 非等势面有电位差 绝缘体 1010 　产生束缚电荷，电荷 难以在表面重新分布 8 2、静电放电效应物理机制（续一） 图一：带电体电位 VS 体电阻 9 2、静电放电效应物理机制（续二） 2．2　电子、半导体荷电起源 半导体器件制程工艺都在表面上进行（切磨抛、清洗、氧化、光刻、蒸发、烧结、光刻、钝化、划片、测试）制备芯片； 电子产品装配中：传送带、风冷热气流、毛刷刷灰尘、气枪、冲床、气压电动钻孔、锁镙丝、装包装袋、摩擦、剥商标纸等。 10 2、静电放电效应物理机制（续三） 表四：不同半导体材料物理性能差异 半导体 器件 电阻率 ρ(Ω·cm) 导热系数 W/cm·K 散热性 抗静电电压 (V) 硅 二极、三极管IC电路 10-2－102 （掺杂） 1.5 较好 600 碳化硅 红色LED 105－106 （不掺杂） 4.9 好 1000 蓝宝石 绿蓝白LED衬底 ＞106 0.49 较差 500 11 2、静电放电效应物理机制（续四） 2．3　雷云与闪电，全球每秒有100到300次闪电发生 12 3、洁净车间、机房的静电表现 3．1　电子、半导体车间用具、装置的要求 电子、半导体车间环境 地面、墙壁、工作台、传送带等 电子、半导体车间用具的要求 椅子、风扇、装料盒、各种工具等 电子测量、计量设备装置的要求 13 3、洁净车间、机房的静电表现（续） 3．2　电子计算机房 组成：设备、磁盘、软盘、打印机、配电盘等 特点：防尘、防湿、恒温、净化、防静电 要求：环境清洁度越高，湿度小于50%，环境（地面、工作台、凳子、机台、外围设备等）尤其容易产生 ESD 14 4、IC. MOS.FET.GaN LED失效分析 4．1　失效主要起因 CMOS “栅”层薄，VLIC 集成化密度高、线宽窄、间距小、易静电放电； InGaN 绿、蓝芯片结构是量子阱、厚度十几nm，尤其受静电放电击穿使 pn 结破坏，绿蓝 LED 失效； PCB、电子线路间距小至几十微米，尘埃大于10微米，被吸附后容易造成短路放电。 15 4、IC. MOS.FET.GaN LED失效分析（续） 器件类型 ESD电压值（V） 器件类型 ESD电压值（V）