第二章半导体教程范本.ppt

第二章半导体材料;目标 通过本章学习，能够： 1.能够列出至少三种半导体材料 2.解释电阻率、电阻和电容，讨论它们在芯片制造中的重要性 3.解释N型和P型半导体材料在组成和电性能方面的不同 4.讨论以砷化镓为重点的其它半导体材料;2.1原子结构 自然界中任何事物都是由96种稳定元素和12种不稳定元素组成的。不同原子结构决定了不同的元素特性。 著名物理学家尼尔斯·玻尔最早把原子的基本结构用于解释不同元素的不同物理、化学和电性能。;2.1.1玻尔原子模型 带正电的质子和不带电的中子集中在原子核中，带负电的电子围绕原子核在固定的轨道上运动。 带正电的质子和带负电的电子之间存在着吸引力，不过吸引力和电子在轨道上运动的离心力相抵，这样原子结构就稳定了。 每个轨道容纳的电子数量是有限的。当一个特定的电子轨道被填满后，其余的电子就必须填充到下一个外层轨道上。;;;元素：同种原子构成的最简单的物质，具有特定的物理和化学性质 分子：由两个或更多的原子构成，通过化学作用紧密束缚在一起的结构，表现为一个独立单元 化合物：由两个或更多的原子构成，形成一种性质不同于组分原子的新物质 ;电子：各个电子占据了包含7个不同壳层的轨道，每个壳层对应了一个特定的能级，以从K到Q得字母来区分。 电子能级：能量单位是电子伏特（ev），代表一个电子从低电势处移动到高出1V的电势处所获得的动能。 价电子层：给定一种原子，最外部的电子层就是价电子层，对原子的化学和物理性质具有显著的影响。;固体能带论：解释了固体材料中电子怎样改变轨道能级。 离子：当原子失去或得到一个或多个电子时成为离子。 电离：从原子中移去电子的过程，产生了带正电的原子或分子。 离子键：当价层电子从一种元素的原子转移到另一个原子上时，形成离子键。 共价键：不同元素的原子共有价层电子，原子通过共有电子来使价层完全填充而变得稳定。;2.1.2元素周期表 原子结构的规则 1、在任何原子中都有数量相等的质子和电子 2、任何元素都包括特定数目的质子，没有任何两种元素有相同数目的质子。“原子序数”就等于原子中??子的数目。 3、有相同最外层电子数的元素有着相似的性质。;4、最外层被填满或者拥有8个电子的元素是稳定的，在化学性质上比最外层未填满的原子更稳定。 5、原子会试图与其他原子结合而形成稳定的条件。;;2.1.3硅片制造中一般化学元素的族特性 IA ：一个价电子，容易失去，低负电性 不稳定 非常活泼，爆炸性 形成离子键 由于污染问题，不推荐使用这族金属; IIA：2个价电子 有些不稳定 相当活泼 不推荐使用这族金属;IIIA：3个价电子 加入到半导体材料中的掺杂元素（主要 是B） 普通的互连导电材料（AL） ; IVA：4个价电子 半导体材料 形成共价键 VA：5个价电子 加入到半导体材料中的掺杂元素（主 要是P和AS） ;VIA：6个价电子 VIIA：7个价电子，容易接受电子，高负电性 腐蚀性 非常活泼 形成离子键 在某些半导体应用中有用：作为刻蚀 和清洗化合物而使用 ;VIIIA：8个价电子 稳定，不活泼 惰性气体 应用在半导体制造的某些方面是安全的;IB：最好的金属导体 Cu正在取代AL的互连导体材料的位置 IVB~VIB：难熔（高熔点）金属，一般用于 半导体制造中以改善金属化（尤其 是Ti、W、Mo、Ta和Cr） 与Si反应良好，形成具有优良电学 特性的稳定化合物 ;2.2材料分类 根据流经材料电流的不同可分为三类材料： 导体 绝缘体 半导体 ;2.2.1导体 导体：价带与导带交叠，电子从价带移动到导带只 需很小的能量。 在原子的最外层通常有一些束缚松散的价电子， 容易失去。金属典型地具有这种价电子层结构。 在一般的半导体制造中，铝是最普通的导体材 料，用来充当器件之间的互联线，而钨可作为金属 层之间的互连材料。 铜是优质金属导体