脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入.PDFVIP

3 2 Π Π Π 2 ν 1 - 2 2 第 56 卷 第 8 期 2007 年 8 月 物 　理　学　报 Vol. 56 ,No. 8 ,August ,2007 1000 3290 2007 56(08) 4762 09 ACTA PHYSICA SINICA 2007 Chin. Phys. Soc. 脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入 鞘层扩展动力学的影响