基于激光波数扫描干涉曲面轮廓度测量.pdfVIP

ELECTRONICS WORLD?探索与观察 基于激光波数扫描干涉曲面轮廓度测量 广东工业大学自动化学院 王书雨 白玉磊 韩 韬 周延周 【摘要】激光波数扫描干涉是一种新型激光干涉测量方法，具有稳定性好、测量精度高等优点。为了提高测量的精度，采用基于迈克尔逊干 涉仪的波数扫描干涉的方法，并且对激光波数扫描干涉进行了理论分析和实验验证。并且运用矩阵的特征值分解与最小二乘法相结合的方法 (EDLSA)对数据进行解调。此方法是一种广义的傅里叶变换，采用盲信号处理方式，不需要一些先验知识；并且通过和2D傅里叶变换的方法 进行比较，证明此方法是可行的；并且EDLSA的测量精度16.86nm，而傅里叶变换的测量精度18.17nm。 【关键词】激光波数扫描；傅里叶变换；特征值分解；最小二乘法 opmWB 1.引言