第八章洁净室检测与认证综述.pptVIP

第八章 洁净室检测与认证 检测程序及要求 检测程序 主要是指对洁净室或洁净区域的空气洁净度等级等进行测定 生物洁净室还要进行浮游菌、沉降菌的测试 1、洁净室的检测首先应明确洁净室或洁净区域的占用状态，按照《洁净厂房设计规范》规定，洁净室检测状态分为空态、静态和动态三种 。 检测程序 1、三态检测 1.1空态检测 设施已建成，所有动力接通并运行，但在无生产设备、材料和生产人员在场的情况下所进行的测试称为空态检测。 1.2静态检测 设施已建成，生产设备已经安装好，并以用户和供应商同意的方式运行，但没有生产人员在场的情况下所进行的测试称为静态检测 检测程序 1、三态检测 1.3动态检测 设施以规定的方式运行，有规定数目的人员在场，并以双方同意的方式进行工作的情况下进行的测试称为动态检测。 2、洁净室的检测可分为洁净室工程竣工验收的检测、综合性能评定的检测和运行中的监测及定期综合性能检测。 检测内容 1、竣工验收 《洁净室施工及验收规范》中明确规定，竣工验收在对各分部工程作外观检查、单机试运转、系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录合格后进行。 2、综合性能全面评定 综合性能全面评定的检测工作必须由有经验的第三方承担； 检测内容 2、综合性能全面评定 检测所用仪表必须合格有效。检测工作须在系统调整符合设计要求并运行至少24h后进行，而且，在检测工作之前，必须对洁净室及净化空调系统再次进行全面彻底的清扫。 检测内容 3、洁净室（区）性能测试和认证 洁净室（区）投入运行后，为了检测其综合性能是否可以做到始终符合设计要求、标准规范的规定和满足业主的产品生产质量要求，需对洁净室（区）进行监测和定期性能测试认证，测试认证工作应由专门的洁净室检测认证单位承担。 上述三种不同阶段、不同时序的洁净室（区）的检测内容及要求，有相同也有差异，下 表列出了它们的各自检测项目的情况。 洁净室（区）各阶段测试要求 洁净室（区）各阶段测试要求 检测方法及评定标准 高效过滤器检漏 高效过滤器本体在进入现场前生产厂家应按规定进行性能实验检测（如DOP实验等） 对于5级（100级）以上洁净室所使用的高效过滤器，在现场应再次进行高效过滤器本体的性能检测，同时进行检漏试验以确认高效过滤器是否正确安装。 检测方法及评定标准 高效过滤器检漏 在大规模集成电路生产的超洁净技术中（如0.1μm，1级），由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级（1000级）的程度，因此，在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。 检测方法及评定标准 1、检测要求 1.1一般采取粒子计数器法进行检漏，被检高效过滤器必须已检测过风量，并在设计风速的80%～120%之间进行。 1.2对于被检高效过滤器上风侧的微粒浓度符合下列要求： 对受控微粒≥0.5m的浓度，≥3.5×104pc/L； 对受控微粒≥0.1m的浓度，≥3.5×106～3.5×107pc/L。 检测方法及评定标准 2、检测方法 采用扫描法对高效过滤器安装接缝和主断面进行检测，检测点应距被测表面20～30毫米，测头以5～20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描，如图8-1所示。粒子计数器的最小采样量大于1L/min。 扫描方法示意图 检测方法及评定标准 3、检测设备 3.1光散射粒子计数器 其工作原理是利用空气中的微粒对光线的散射现象，将采样空气中的微粒的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号来测定微粒的颗粒数，利用微粒的光散射强度与微粒粒径的平方成正比的关系，测量微粒粒径大小。光散射粒子计数器的工作原理见图8-2，仪器一般由气路系统、光学系统、电路系统和电源等部分组成。国产的Y09等系列粒子计数器，进口的Royco-245粒子计数器均属于此类粒子计数器。 光散射粒子计数器 检测方法及评定标准 3、检测设备 3.2激光粒子计数器 其工作原理与光散射粒子计数器基本相同，但因采用了比光散射粒子计数器强100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒径的检测范围达0.1μm。图8-3是该类计数器光学系统简图。 3.3凝聚核粒子计数器 它是利用饱和蒸汽让微小粒子凝聚为大粒径为粒子，进行微粒粒子浓度测定，原理见图8-4。 激光粒子计数器光学系统简图 凝聚核计数器原理简图 检测方法及评定标准 4、合格标准 《洁净室施工及验收规范》中规定，由高效过滤器下风侧泄漏浓度换算成的穿透率来衡量是否合格，计算公式如右式。 K :高效过滤器出厂时检测合格的透过率;K’ :高效过滤器的泄漏浓度换算成的透过率;C1:高效过滤器上风侧含尘浓度;C2:高效过滤器下风侧尘浓度. 检测方法及评定标准 静压差 此项检测的目的是为了测定