透明导电薄膜（TCO）之原理及其应用发展.ppt

透明導電薄膜 (TCO) 之原理及其應用發展;1. ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹 透明導電氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO的導電原理 3. TCO的光學性質 4. TCO 薄膜之市場應用及發展;1. ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹 透明導電氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO的導電原理 3. TCO的光學性質 4. TCO 薄膜之市場應用及未來發展;什麼是透明導電薄膜 ?;純金屬薄膜 ?? Au、Ag、Pt、Cu、Al、Cr、Pd、Rh，在 10nm厚度的薄膜， 均有某種程度的可見光透光度 早期使用之透明電極 缺點：光的吸收度大、硬度低、穩定性差;透明導電薄膜;History of TCO;透明導電薄膜主角-- ITO;ITO是什麼？;Why choose ITO ?;ITO之組成及特性;ITO 組成在In2O3/SnO2 = 90/10時 ?? 最快的蝕刻速率;銦(In)礦的主要應用;各種TCO材料-- ZnO系透明導電膜;1. ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹 透明導電氧化物(Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO的導電原理 3. TCO的光學性