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中国科学 E 辑: 技术科学 2009 年 第 39 卷 第 8 期: 1414 ~ 1418 《中国科学》杂志社 SCIENCE IN CHINA PRESS 醋酸对电化学沉积氮化碳薄膜的影响 田瑀①②, 王建中①②, 于卫锋①②, 曹荣根③, 宋云③, 宁西京①②* ① 复旦大学现代物理研究所, 上海 200433; ② 复旦大学教育部应用离子束物理重点实验室, 上海 200433; ③ 复旦大学材料科学系电子材料实验室, 上海 200433 * E-mail: xjning@ 收稿日期: 2008-06-02; 接受日期: 2009-01-10 国家自然科学基金资助项目(批准号: 摘要 采取电化学沉积方法, 在尿素的甲醇溶液中制备 CNx 薄膜, 发现在反应原液中加入