微纳米制造技术的摩擦学挑战.PDFVIP

? ? ? ? ? ? 2 2 2 ? ? ? 2 第 25 卷　第 3 期 摩 擦 学 学 报 V o l 25, 　N o 3 2005 年 5 月 TR IBOLO GY M ay, 2005 微 纳米制造技术的摩擦学挑战 雒建斌1, 何　雨1, 温诗铸1, 钟　掘2 (1. 清华大学 摩擦学国家重点实验室, 北京　100084; 2. 中南大学 机械工程学院, 湖南 长沙　410083) 摘要: 评述了国内外航天、信息和军事等高技术领域中微 纳米制造技术的研究现状和发展趋势, 介绍了微 纳米制造 技术特征2及2其关键技术问题,2揭2示了?当器件的尺度2由毫米量级减小到微米甚至纳米量级时, 微器件材料表面和界面的 ? 摩擦学 (摩擦磨损及润滑)、力学和化学等及其控制方法是微 纳米制造研究中急需解决的关键技术问题. 这些问题的 解决对摩擦学研究提出了严峻挑战, 新的摩擦学理论和技术的出现将为微 纳米制造技术的发展以及相关问题的解决 提供保障. 关键词: 微 纳米制造技术; 表面与界面; 摩擦学; 挑战 中图分类号: TH 117. 2 文献标识码: A 文章编号: 1004 0595 (2005) 03 0283 06 索和基本结构实验阶段, 但进展很快. 如美国哈佛大 1　国内外研究现状和发展趋势 学、荷兰D eift 大学等用碳纳米管和纳米导线为材料 随着现代科学技术的发展, 人们不断追求尺度小 成功制备出了二极管和场效应晶体管; 美国加里福尼 且性能完善的微型装置, 以适应信息、生物、环境、医 亚大学伯克利分校和贝尔实验室尝试用几百个原子 学、航空航天和灵巧武器等领域的要求. 这一发展趋 的晶体制作量子岛; 美国加里福尼亚大学洛杉机分校 势对于现代制造科学技术的发展具有深远的影响. 目 和惠普实验室开展了利用共振隧道效应使有机分子 前, 微 纳米制造技术已成为制造业发展的重要方向, 实现“通”、“断”状态转换的实验研究等. 这些基础研 是 21 世纪最具有前景的 3 大领域和当今世界竞争最 究显示了下一代电子器件发展的