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扫描近场微波显微镜测量非线性介电常数的理论校准系数.pdf
扫描近场微波显微镜测量非线性
介电常数的理论校准系数!
柳学榕 胡 泊 刘文汉 高 琛!
(中国科学技术大学物理系,合肥
#$$%
)
(中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥
#$$%
)
(
$$
年
#
月
#
日收到;
$$
年
%
月
日收到修改稿)
从理论上分析了扫描近场微波显微镜中探针和非线性样品之间的相互作用,对非线性介电常数测量时的一个
校准系数进行了理论分析和计算,得到该系数与介电常数之间的关系曲线,并对各方向的贡献和分辨率极限进行
了初步探讨
’
关键词:扫描近场微波显微镜,介电常数,非线性
!##
:
$(()
,
**+
,
,%%$-
!中国科学院“百人计划”,创新方向性项目(批准号:
./012$2
)、国家自然科学基金(批准号:
%$($,,
)、国家杰出青年科学基金(批准
号:
*$*$(
)、教育部博士点基金(批准号:
$$$(*3$*
)资助的课题
’
! 通讯作者,电子邮件:
456789:;4’ =9’ 4
?
引 言
非线性是铁电材料的关键功能性质之一,也是
其许多重要应用的基础,如微波移相、调谐、混频等
’
近年来,随着器件小型化的趋势,薄膜材料的非线性
行为和人工周期铁电畴结构成为了研究的热点[]
’
由于介电非线性行为所依赖的铁电畴没有光学反
差,光学方法很难对其进行观测,只能通过差分腐蚀
来间接推断[],或通过二次谐波显微镜来观察[#]
’
其
中差分腐蚀方法是破坏性的,对薄膜材料难以适用,
而二次谐波显微镜的分辨率有限
’
近年来,各种扫描
探针显微术在材料畴结构和各项异性的研究中获得
了广泛的应用[,—%],其中扫描近场微波显微镜(
:462
@5 ;@A B@4C7D6E 6C2F@G= B@4C7:47AH
,
IJ+K+
)将扫
描探针技术和微波测量技术相结合[(,3],实现了亚
微米尺度材料介电性质的无损定量测量,能够满足
对材料介电非线性行为显微定量测量的需求
’
近场显微的概念可以追溯到
)3
年
’ IH5
认
为用比波长更小的点源在足够近的距离内照明物
体,或用比波长更小的点探测器在足够近的距离内
探测物体的散射波,分辨率可以突破衍射极限[)]
’
)%
年,
I77L77
在 微 波 波 段 验 证 了 这 一 想 法[$]
’
)(
年,
M:L
和
K@4L7GG:
在微波波段得到了
$?*BB
(
!
N %$
)的分辨率[],但这样的分辨率显然无法与传
统的光学显微镜相竞争
’
随着
IJ+
和
MO+
技术的发
展,一直困扰近场显微术的探针
2
样品间距控制的问
题得到了解决,
P7LG
[
]和
QD@:
[
#
]终于在
)3,
年成
功地将近场显微术扩展到了红外和可见光波段,分
辨率达到了
*B
(
!
N $
),超过了传统光学显微镜的
分辨率
’
随后,近场显微术取得了长足的进展,导致
了一系列重要应用的开拓
’
新型
IJ+K+
的设计在
))%
年提出[(],并率先
在定量显微理论上取得了突破[3,,]
’
由于在众多的
近场显微术中,源
2
物或物
2
探测器的距离均小于波
长,它们之间存在的强烈的相互作用,使得相应的定
量近场显微理论变得非常困难,一般需采用数值方
法在 比 波 长 短 的 尺 度 上,以 实 际 边 界 条 件 求 解
RGBS7G;T
方程,得到近场范围内的场强分布,再由各
种显微信号计算相应的物理性质
’
这种方法需要大
量的数值计算,难以实时处理,应用上受到了很大的
限制
’ /67
等人针对微波的特点,提出了近场微波显
微的“准静态”成像理论[3,,],得到了显微信号和材
料介电性质间的解析关系,并成功地应用于介电材
料线性介电性质的研究[*,%]
’
但是,介电材料非线
性和导电材料电导的测量目前还处于定性或半定量
第
*
卷 第
期
$$#
年
月
$$$ #)$ N $$# N *
(
$
)
N $$#, $*
物 理 学 报
M0JM PRUIV0M IVKV0M
W7G’*
,
K7’
,
X696CH
,
$$#
!
$$# 0L@’ PLH:’ I74’
万方数据
的水平上
!
本文就非线性常数测量时的一个校准系
数进行理论分析和计算,结果可使非线性介电常数
的测量达到定量水准
!
# $%’
的构造和非线性介电常数的
测量方法
新型
$%’
的基本结构如图
(
所示
!
其核心为
一个高品质因素(
!
)的
!
) *
同轴共振腔
!
探针安装
在共振腔开端的中心导体上,并从小孔中伸出共振
腔约
—
+,,!
小孔用镶在腔壁上镀有
-.
膜的白宝
石构成,小孔的直径应能容纳针尖穿过,越小越好,
以防针尖在小孔内的振动和远场成分的泄漏;
-.
膜
厚度为趋肤深度,以屏
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