激光振镜扫描失真分析及算法研究.pdfVIP

谦疙旅镜扫描夫A 令祈怠算法研究骨 王天雷 l ，高海芳2 ，王大承2 (1.五邑大学信息学院，广东江门 529020 ， 2. 五邑大学机电工程系，广东江门 529020) 摘 要:激光振镜是-种优良的扫描器件。但是激尤振镜扫描方式存在着固有扫描场的几何畸变， 表现为 z 方向上的枕形失真、y 方向上的桶形失具和一般的线性失具。当扫描场较大时，极大地影响了 激先加工的质量。本文以提高校正精度为目标，通过分析和对比几种软件校正算法原理及试验效果，从 而找出了其中一种实用、简单、灵活的校正方法。 关键词:振镜扫描 z 几何失真;校正 中固分类号 :TH 744 文献标志码 :A Distortioo Aoalysis and AIgorithm Research 00 Laser Galvanometer Scanning W ANG Tianlei l , GAO HaifangZ, W ANG Dacheng2 (1. Departrnent of lnfonnation , 2. Departrnent of Mechanical Engineering , Wuyi University , Jiangrnen 529020 , China) Abstract: The laser galvanorneter is a good kind of scanning device. But the laser galvanorneter scanning style has the in- trinsic graphic distortion , it expressed as the pillow-shaped field distortion along x direction , pillow-shaped field distortion along y direction and generallinear distortion. When the sc且nning ar创 is large , it will create a bad influence to the quality of laser process. ln order to increase the precision of correction , this article finds out a practical , sirnple and elastíc correction algorithrn , by introducing sorne typical algorithrns and cornparing the experírnental effects of various algorithms. Key woo也:Galvanometer scanning , Geornetrical distortion , Correction 振镜式激光扫描时存在着扫描图形的线性失真 和非线性失真LU ，特别是当扫描区域较大时，会严重 影响激光扫描的加工质量，也给进一步分析处理带 来困难。因此，要对失真进行校正，校正可以采用硬 件校正，也可采用软件校正，硬件校正相对成本较 高，采用软件校正则经济、准确，且可灵活调整参数， 简单实用，已越来越受到重视山。以下对几种软件 校正算法进行比较，找出了一种比较实用的算法。 1 振镜扫描图形畸变产生原因及校正原理 1. 1 振镜扫描系统图形产生畸变的原因 如图 1 所示的坐标系中，激光束人射方向平行 于 z 轴 ， x 轴振镜(镜1)以平行于 z 的轴转动，其偏 转角为 8:z: ;y 轴振镜 (镜 2) 以平行于 z 的 Z 轴转动，其偏转角为 8y 。当激光束垂直 x 射到工作台时，激光 束在工作台面上的 投影为 (0 ， 0) 点，此 时镜 1 与镜 2 的偏转 角 {}z 和民分别为零。 当激光束射到工作 图 1 摄镜扫描系统原理固 面上的任一点(x ， y) 时，可以得出光束在 xoy 平面 上的扫描轨迹。 {:仁y户=仙 (1) x=t饨an8x ( .(d丐7+eρ 其中 e 为 z 轴和 y 轴反射镜之间的臣离 ，d 为 镜 2 的轴线到视场平面坐标原点的距离. 当 {}y 芋 0 时，令 tan8:z: = a ， 则有 z (x-e. a~- .t =1 (d ? a)2 d 2 - 由此可知，所得的曲线为双曲线.当 8y 0 时， 取双曲线的左部分; (}y 0 时，取双曲线的右部分， 即所谓的畸变。表现为 z 方向上的枕形失真、y 方 向上的桶形失真和一般的线性失真(见图 2). 当扫 描场较大时，会极大地影响激光加工的质量. a) x方向的枕形失