飞秒激光啁啾脉冲放大中压缩光栅的等离子体清洗.PDFVIP

第３９卷　第４期 中　国　激　光 Ｖｏｌ．３９，Ｎｏ．４ ２０１２年４月 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犔犃犛犈犚犛 犃狆狉犻犾，２０１２ 飞秒激光啁啾脉冲放大中压缩光栅的等离子体清洗 葛绪雷１，２　滕　浩１　郑　轶１　马景龙１　张　伟１　毛婧一１ 陈黎明１　王兆华１　李玉同１　蒋　刚２　贺端威２　魏志义１ １中国科学院物理研究所光物理重点实验室，北京 １００１９０ （ ２四川大学原子与分子物理研究所，四川 成都 ６１００６５ ） 摘要　在飞秒太瓦激光装置中，高效率的压缩光栅是获得高峰值功率飞秒激光输出的最重要光学元件之一。虽然 光栅安装在无油的真空室内，但当光栅受到强激光的辐照时，真空中残存的气态有机物会被碳化并沉积在光栅表 面，使得光栅受到“污染”，衍射效率大大降低。激光辐照累积的热量会导致光栅结构发生变化，甚至会造成光栅的 永久损伤。为此发展了用等离子体来清洗光栅表面污染层的方法，实验结果表明该方法非常有效地清洗了光栅表 面的污染，提高了衍射效率并避免了光栅的损伤。该方法简单，易于操作，可以安装在压缩光栅真空室上，在不影 响真空室里面的光学元件情况下可以实现实时清洗。 关键词　光栅；压缩光栅；衍射效率；等离子体清洗；飞秒太瓦激光 中图分类号　Ｏ５３９　　　文献标识码　Ａ　　　犱狅犻：１０．３７８８／犆犑犔２０１２３９．０４０２００６ 犘犾犪狊犿犪犆犾犲犪狀犻狀犵狅犳犆狅犿狆狉犲狊狊犲犱犌狉犪狋犻狀犵犻狀犆犺犻狉狆犲犱犘狌犾狊犲犉犲犿狋狅狊犲犮狅狀犱 犔犪狊犲狉犃犿狆犾犻犳犻犲狉 犌犲犡狌犾犲犻１，２　犜犲狀犵犎犪狅１　犣犺犲狀犵犢犻１　犕犪犑犻狀犵犾狅狀犵１　犣犺犪狀犵犠犲犻１　犕犪狅犑犻狀犵狔犻１ 犆犺犲狀犔犻犿犻狀犵１　犠犪狀犵犣犺犪狅犺狌犪１　犔犻犢狌狋狅狀犵１　犑犻犪狀犵犌犪狀犵２　犎犲犇狌犪狀狑犲犻２　犠犲犻犣犺犻狔犻１ １犔犪犫狅狉犪狋狅狉狔狅犳犗狆狋犻犮犪犾犘犺狔狊犻犮狊，犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犳犘犺狔狊犻犮狊，犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿狔狅犳犛犮犻犲狀犮犲狊，犅犲犻犼犻狀犵１００１９０，犆犺犻狀犪 （ ２犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犳犃狋狅犿犻犮犪狀犱犕狅犾犲犮狌犾犪狉犘犺狔狊犻犮狊，犛犻犮犺狌犪狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋狔，犆犺犲狀犵犱狌，犛犻犮犺狌犪狀６１００６５，犆犺犻狀犪 ） 犃犫狊狋狉犪犮狋　犜犺犲犱犻犳犳狉犪犮狋犻狅狀犲犳犳犻犮犻犲狀犮狔狅犳犮狅犿狆狉犲狊狊犻狅狀犵狉犪狋犻狀犵狊犻狀犮犺犻狉狆犲犱狆狌犾狊犲犪犿狆犾犻犳犻犮犪狋犻狅狀犻狊狏犲狉狔犮狉狌犮犻犪犾狋狅狅犫狋犪犻狀 狋犲狉犪狑犪狋狋犳犲犿狋狅狊犲犮狅狀犱犾犪狊犲狉．犃犾狋犺狅狌犵犺狋犺犲 犵狉犪狋犻狀犵狊犪狉犲犾狅犮犪狋犲犱犻狀 狏犪犮狌狌犿 犮犺犪犿犫犲狉 狑犻狋犺 狅犻犾犳狉犲犲，狋犺犲 犵狉犪狋犻狀犵狊 犻犾犾狌犿犻狀犪狋犲犱犫狔犾犪狊犲狉犫犲犪犿 犪狉犲狊狋犻犾犾狊狌犫犼犲犮狋犲犱狋狅犮犪狉犫狅狀犮狅狀狋犪犿犻狀犪狋犻狅狀犻狀狋犺犲 狏犪犮狌狌犿 犮狅狀犱犻狋犻狅狀，犪狀犱狉犲狊狌犾狋狊犻狀 犱犲犵狉犪犱犪狋犻狅狀狅犳犱犻犳犳狉犪犮狋犻狅狀犲犳犳犻犮犻犲狀犮狔．犕狅狉犲狅狏犲狉，犪犱犱犻狋犻狅狀犪犾犲狀犲狉犵狔犱犲狆狅狊犻狋犻狅狀狅狀狋犺犲狊狌狉犳犪犮犲狅犳犵狉犪狋犻狀犵狑犻犾犾犾犲犪犱狋狅 犻狉狉犲狏犲狉狊犻犫犾犲犮犺犪狀犵犲狊狅犳狋犺犲犵狉犪狋犻狀犵狊狋狉狌犮狋狌狉犲狅狉犲狏犲狀犮犪狋犪狊狋狉狅狆犺犻犮犱犪犿犪犵犲．犃狆犾犪狊犿犪犮犾犲犪狀犻狀犵狋犲犮犺狀犻狇狌犲犻狊犻狀狋狉狅犱狌犮犲犱 狋狅狉犲犪犾犻狕犲犮犾犲犪狀犻狀