扫描探针显微镜课题.pptVIP

扫描探针显微镜;扫描探针显微镜概述;STM－引言;发展历史;发展 1986年，IBM和Stanford University合作由Binning, Quate, and Gerber发明了原子力显微镜（Atomic Force Microscope, AFM)。 ;第一台STM和AFM;SPM概述－各类显微镜的比较;SPM概述－独特优点 ;SPM概述－几种表面分析仪器的比较;SPM概述－Scanning Probe Microscopy Family;一、 原子力显微镜原理; 图1 AFM原理图 ;1 检测系统 悬臂的偏转或振幅改变可以通过多种方法检测，包括：光反射法、光干涉法、隧道电流法、电容检测法等。目前AFM系统中常用的是激光反射检测系统，它具有简便灵敏的特点。激光反射检测系统由探针、激光发生器和光检测器组成. 2 探针 探针是AFM检测系统的关键部分．它由悬臂和悬臂末端的针尖组成．随着精细加工技术的发展，人们已经能制造出各种形状和特殊要求的探针。悬臂是由Si或Si3N4经光刻技术加工而成的．悬臂的背面镀有一层金属以达到镜面反射。在接触式AFM中V形悬臂是常见的一种类型(如图3.2所示)． ;它的优点是具有低的垂直反射机械力阻和高的侧向扭曲机械力阻．悬臂的弹性系数一般低于固体原于的弹性系数， 悬臂的弹性常数与形状、大小和材料有关．厚而短的悬臂具有硬