扫描电镜原理及提高图像质量的方法材料.ppt

西安交通大学材料学院 王 伟 ;S-2700扫描电镜;如何利用扫描电镜拍出高质量的图像;;特征X射线;背散射电子 它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子，前者是指只受到原子核单次或很少几次大角度弹性散射后即被反射回来的入射电子，能量没有发生变化；后者主要是指受样品原子核外电子多次非弹性散射而反射回来的电子。;二次电子 它是被入射电子束轰击出来的样品核外电子，又称为次级电子。 在样品上方装一个电子检测器来检测不同能量的电子，结果如图所示。二次电子的能量比较低，一般小于50eV；背散射电子的能量比较高，其约等于入射电子能量 E0。; 电子能谱图;特征X射线 特征 X射线是原子的内层电子受到激发之后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种???磁波辐射。 ;二、 扫描电镜的构造 ;扫描电镜由六个系统组成(1) 电子光学系统（镜筒）(2) 扫描系统 (3) 信号收集系统(4) 图像显示和记录系统(5) 真空系统 (6) 电源系统;(1)电子光学系统（镜筒） 由电子枪、聚光镜、物镜和样品室等部件组成。它的作用是将来自电子枪的电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束来轰击样品，使样品产生各种物理信号。 ;(2)扫描系统 