真空计算公式和水环式真空泵概述.docVIP

真空计算常用公式 1、玻义尔定律 ? ? ? ? 体积V，压强P，P·V＝常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。 即P1/P2＝V2/V1） 2、盖·吕萨克定律 ? ?? 当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1/V2＝T1/T2＝常数） ? ? ? ? 当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。 3、查理定律 ? ? ? ? ?? 当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：P1/P2＝T1/T2 ? ? ? ? ? ? ? 在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。 4、平均自由程： ? ?? λ＝(5×10-3)/P (cm) 5、抽速： ? ? ? S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P ? ? ?? Q＝流量(托·升/秒) P＝压强(托)　　V＝体积(升) t＝时间(秒) 6、通导： C＝Q/(P2-P1) (升/秒) 7、真空抽气时间： ? ? ? ? 对于从大气压到1托抽气时间计算式： t＝8V/S (经验公式) ? ?? （V为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。） 8、维持泵选择： ? ? ?? S维＝S前/10 9、扩散泵抽速估算： ? ? ? S＝3D2 (D＝直径cm） 10、罗茨泵的前级抽速： ? ?? S＝(0.1~0.2)S罗 (l/s) 11、漏率： ? ? ?? Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1) ? ? ? ? ? ? Q漏－系统漏率(mmHg·l/s)? ? ? ? ? ?? V－系统容积(l) ? ? ? ? ?? P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg) ? ? ? ? ? P2－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg) ? ? ? ? ?? t－压强从P1升到P2经过的时间(s) 12、粗抽泵的抽速选择： ? ? ?? S＝Q1/P预 (l/s) ? ? ? S=2.3V·lg(Pa/P预)/t ? ? ? ? ?? S－机械泵有效抽速? ? ? ? ? ? Q1－真空系统漏气率(托·升/秒) ? ? ? ? ? ? P预－需要达到的预真空度(托)? ?? V－真空系统容积(升) ? ? ? ?? t－达到P预时所需要的时间? ? ? ? Pa－大气压值(托） 13、前级泵抽速选择： ? ? ? ? ?? 排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有： ? PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn ? ? Sg－前级泵的有效抽速(l/s)? Pn－主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s) ? Pg－真空室最高工作压强(托)?? S－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s) 14、扩散泵抽速计算公式： ? ? ? S＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒) 式中：S－被试泵的抽气速率(l/s)? ?? n－滴管内油柱上升格数(格) t－油柱上升n格所需要的时间(秒)?? P－在泵口附近测得的压强(托) K－滴管系数(托·升/秒)? ? K＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt ? ? ? ? ? ? ?? 其中V0－滴管和真空胶管的原始容积(升)? ? L－滴管刻度部分的长度(mm) ? ? ? ? ?? n－滴管刻度部分的格数(格)? ? ? ? ? ? Υ0－油的比重(克/厘米3) ? ? ? ?? Υm－汞的比重(克/厘米3)? ? ? ? ?? Pa－当地大气压强(托) ? ? ? ? ? △Vt－滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格) 15、旋片真空泵的几何抽速计算公式： ? ?? S＝πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s) ? ? ?? 式中：Z为旋片数，n为转速(转/分)，L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径(cm)，Kv为容积利用系数(一般取95％)。 16、O型橡胶槽深B＝0.7D ? ? ? ? ?? D为橡胶直径，槽宽C＝1.6B 17、方形橡胶槽深B＝0.8A ? ? ? ? ? A为方形橡胶边长，槽宽C＝1.67B? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标