2、精密与超精密加工.pptVIP

先进制造技术导论 ;2.1 概述 2.1.1 精密与超精密加工的定义 2.1.2 精密与超精密加工的地位 2.1.3 精密与超精密加工的分类 2.1.4 精密与超精密加工的特点 2.2 精密与超精密加工的主要方法 2.2.1 金刚石刀具镜面切削 2.2.2 精密与超精密磨削 2.2.3 超精密研磨与抛光 2.3 超精密加工的设备与环镜 2.3.1 超精密加工的设备 2.3.2 超精密加工的环境;; 零件 加 工 精 度 表面粗糙度 激光光学零件 形状误差 0.1μm Ra 0.01～0.05μm 多面镜 平面度误差 0.04μm Ra ＜0.02μm 磁头 平面度误差 0.04μm Ra ＜0.02μm 磁盘 波度 0.01 ～0.02μm Ra ＜0.02μm 雷达导波管 平面度垂直度误差 ＜ 0.1μm Ra ＜0.02μm 卫星仪表轴承 圆柱度误差 ＜0.01μm Ra ＜0.002μm 天体望远镜 形状误差 ＜ 0.03μm Ra ＜0.01μm ;图2-1 精密加工与超精密加工的发展（Taniguchi，1983）;;;;;;;;;;; 金刚石刀具刃磨 — 通常在铸铁研磨盘上进行研磨 — 晶向选择应使晶向与主切削刃平行 — 圆角半径越小越好（理论可达到1nm）;; 2.2.2精密与超精密磨削 在工具和模具制造中，磨削是保证产品的精度和质量的最后一道工序，在磨削脆性材料时，由于材料本身的物理特性，切屑形成多为脆性断裂，磨剂后的表面比较粗糙。在某些应用场合如光学元件，这样的粗糙表面必须进行抛光，它虽能改善工件的表面粗糙度，但由于很难控制形状精度，抛光后经常会降低。为了解决这一矛盾，在80年代末日本和欧美的众多公司和研究机构相继推回了两种新的磨削工艺：塑性磨削（Ductile Grinding）和镜面磨削（Mirror Grinding）。; 镜面磨削 ? 顾名思义，它关心的不是切屑形成的机理而是磨削后的工件表面的特性。当磨削后的工件表面反射光的能力达到一定程度时，该磨削过程被称为镜面磨削。镜面磨削的工件材料不局限于脆性材料，它也包括金属材料如钢、铝和钼等。为了能实现镜面磨削，日本东???大学理化研究所的Nakagawa和Ohmori教授发明了电解在线修整磨削法ELID（Electrolytic In-Process Dressing）。 ;进给; ELID磨削方法除适用于金刚石砂轮外，也适用于氮化硼砂轮，应用范围几乎可以覆盖所有的工件材料。它最适合于加工平面，磨削后的工件表面粗糙度可达Rq1nm的水平，即使在可见光范围内，这样的表面确实可以作为镜面来使用。ELID磨削的生产率远远超过常规的抛光加工，故在许多应用场合取代了抛光工序。最典型的例子就是加工各种泵的陶瓷密封圈，传统的工艺是先磨再抛光，采用ELID磨削，只需一道工序，既节约时间又节省投资。 ELID磨削虽有上述优点，但在某些应用场合也有一些缺点。比如在摩削玻璃时，如果采用较大的粒度（2μm），由于砂轮的磨粒连续更替，部分磨粒不断脱离结合剂而成为自由磨粒，这些磨粒在工件与砂轮间作无规则的滚动，个别磨粒会在工件表面上造成局部的无规则的刻痕，其深度有时能超过磨料的半径。;;;;; 几种常见砂带磨削方式（图2-11）;;; 2.2.3超精密研磨与抛光 研磨和抛光都是利用研磨剂使工件与研具之间通过相对复杂的轨迹而获得高质量、高精度的加工方法。 1、研磨抛光加工的机制和特点 研磨加工，通常是使用在1μm到十几μm大小的氧化铝和碳化硅等磨粒和铸铁等硬质材料的研具之间并借助机床提供的复杂运动，实现零件表面加工轨迹高度不重合。 研磨时磨粒的工作状态有以下三种： 1）磨粒在工件与研具之间进行转动。 2）由研具支承磨粒研磨加工面。 3）由工件支承磨粒研磨加工面。