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机械原理 论 文 学 院：机械与动力工程学院 专业班级：机电xxx 姓 名：xxx 学 号：xxx 微型机械浅论 专业班级：机电xxx 姓名：xxx 学号：xxx 一、微型机械概述 1.背景 科学技术向微小领域发展, 由毫米级、微米级继而涉足纳米级, 人们把这个领域的技术称之为微米/纳米技术。微米/纳米技术使人类在认识和改造自然方面进入一个新的层次, 开发物质潜在的信息和结构能力, 使单位体积信息处理和运动控制的能力实现又一次飞跃。将在信息、材料、生物医疗、航空航天和工业等方面产生重大影响。1962 年微小器件的先驱——硅微压力传感器问世, 其主要技术基础是硅膜、压敏电阻和体硅腐蚀工艺。其后用硅加工方法开发出尺寸为50μm～ 500μm的齿轮、齿轮泵、气动轮及连接件等微型机构。1987 年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为60μm～ 120μm的硅微静电电机, 主要技术基础是牺牲层腐蚀工艺和静电驱动, 显示用硅微加工方法可以制作三维可动的机电系统。日本通产省自1991 年度开始实施为期10 年、总投资250 亿日元“微型机械技术”大型研究开发计划。这两个举动对世界的微传感器、微执行器和微系统的发展有重要影响。虽然第一个硅平面工艺专利发表于1952 年,但是直到20 世纪90 年代初, 才出现用硅平面工艺生产带有信号处理电路的微型加速度计(以AD 公司为代表) , 主要设计基础是梳状结构和微电容检测电路, 实现了微小机械结构与电路的一体化集成。 2.定义 日本 1988 年使用“微型机械”一词, 它是从大机器到制造小机器而发展起来的。1989 年日本通产省把它用作国家大型计划的名称。微型机械侧重于在不大于1 cm3的体积内制造复杂的机器。一些日本学者曾大致地这样划分: 1mm～ 10 mm 为小型机械; 1μm～1 mm为微型机械; 将来有可能借助于生物工程和分子组装实现1nm～ 1μm的纳米机械或分子机械。 二、微尺度系统的理论基础 早期的执行器尺度效应研究, 建议选用静电、液压或气动驱动, 例如当器件尺寸由R = 1 mm 减小到 r = 1μm时, 不同的力或能量等减小的情况当特征尺寸达到微米和纳米量级时, 许多物理现象与宏观世界有很大差别, 提出了很多新的科学问题, 如尺度效应、热传导、微流体特性、微光学特性、微构件材料性能、微结构表面效应和微观摩擦机理, 等等, 有人称之为微科学。要发掘和利用微小尺度现象的潜能, 才有高层次的创新。新概念的微型双组元火箭发动机是微动力系统PowerMEMS 的一个范例。它由5-6 片芯片叠在一起, 共3 mm 厚, 内有混合燃烧室、喷口喷管、 2个泵和 2 个阀以及冷却管道, 是一多器件集成系统。用液氧和乙醇作燃料。能产生15N 的推力, 推力重量比达 1500∶1, 是大火箭推进器的10～ 100倍, 反映了微系统的潜力。它可用于微小卫星的引力补偿和位置保持、姿态控制和轨道控制、作为星际探险的动力装置、提供宇航员出舱活动的载人机动装置(MMU )。最近美国M IT又提出利用阵列式微型火箭发射微型航天器的设想, 推力重量比比航天飞机主发动机大20 倍。它涉及的理论和技术基础有微发动机原理、微流动和微传热、微气动力学、微热动力学、在微空腔中的相变和微燃烧、处于边界层的边界效应及多域耦合等。涉及的技术有微泵、微阀、微管道、密封、耐高温材料等。M IT 在硅片上制作出涡轮机, 其目标是1 cm直径的发动机产生10W～ 20W 的电力或0. 05 N～0. 1 N 的推力, 最终达到100W。整个微型涡轮发动机包括一个空气压缩机、涡轮机、燃烧室、燃料控制系统及电启动马达/发电机。 三、当前微型机械发展的特点 1.微型机械加工技术创新 微型机械加工技术是指制作为机械装置的微细加工技术。微细加工的出现和发展早是与大规模集成电路密切相关的，集成电路要求在微小面积的半导体上能容纳更多的电子元件，以形成功能复杂而完善的电路。电路微细图案中的最小线条宽度是提高集成电路集成度的关键技术标志，微细加工对微电子工业而言就是一种加工尺度从微米到纳米量级的制造微小尺寸元器件或薄模图形的先进制造技术。目前微型加工技术主要有基于从半导体集成电路微细加工工艺中发展起来的硅平面加工和体加工工艺，上世纪八十年代中期以后在LIGA加工(微型铸模电镀工艺)、准LIGA加工，超微细加工、微细电火花加工(EDM)、等离子束加工、电子束加工、快速原型制造(RPM)以及键合技术等微细加工工艺方面取得相当大的进展。?? 2.微系统材料研究　 这是一个重要的研究课题,包括半导体、金属、陶瓷、聚合物、特种玻璃、石英和钻石等。表面性能优的薄膜材料、微致动的功能材料、微系统的光学材料(如微小激光器材料、用于