1种基于基本设计原则的新型超精密的坐标测量机.docVIP

一种基于基本设计原则的新型超精密的坐标测量机 引言 在当今社会，产品的使用功能经常要求零件的几何精度达到亚微米的范围。这样零件的生产过程不仅需要可靠和灵活的生产方法，而且还需要高精度的测量仪器。为了在有大的灵活性的前提下满足测量任务，皇家飞利浦电子工业技术中心成功研制出了一种新型超精密坐标测量机的原型机。这台仪器的测量范围在100*100*40 mm，以达到体积测量50nm内的不确定度。 这种新型超精密坐标测量机的目标 这种新型超精密坐标测量机是根据以下目标而设计的： 体积测量不确定度低于50nm; 测量范围在100*100*40mm,其中100*100的平面对应于水平面； 在以1mm/s的速度时，探头触发后机械轴的过移量不超过10um; 单个机械轴的最大移动速度为10mm/s; 能够满足测量机配合不同类型探头的能力（例如：3D测量探头，表面扫描探头） 正如测量机的实际实现最为重要的是获取和发展关于高精度机器的设计，几何校准和热性能的知识。因此，该项目还涉及到以下内容： 开发一种标定的方法和补偿的模型来减少机械结构的几何误差； 开发出补偿模型减少因环境变化引起的误差，特别是由于温度导致的计量结构的误差。 这个模型已经实现了，而且初步的评估显示误差已经得到显著的减少。更多关于校准方法，热设计考虑以及补偿模型将在下文中给出。 主要设计考虑 精密仪器设计的机械设计方面是参照Teague和Evans的例子。他们所谓的“模式”给出了一个关于主要机械方面达到一个高的定位和测量精度的全面的描述。总之，一系列为了达到一个小的定位和测量不确定度的模型和考虑可以被分类和归结为三个主要目标，即： 1. 高重复性（“设计的可重复性”） 2. 小的几何校准不确定度（“设计校准”） 3. 对主要误差源具有高的机械响应预测性（“设计的可预测性”） 为了满足这三个主要目标，下面的设计应该考虑以下几点： 测量系统的校准应该满足阿贝原则和布莱恩原则。相关的错误动作误差应该被测量。合适恰当的校准可以减少测量系统的数量，几何校正数据的数量，校准数量以及误差补偿模型的复杂性。 结构和计量功能模块应该有各自单独的模块执行。这??有利于最优化设计。计量系统的设计应该以高的稳定性，可重复性以及可预测性为目标。区分那些模块必须在整个校准过程中保持稳定性（长期稳定性）以及那些模块只需要在单个机械任务保持稳定（短期的稳定性）是非常重要的。 热效应是机械位置和测量精度非重复性的一个明显而且重要的来源。测量系统应该具有高的热稳定性，以及对热变形具有高的可预测响应性。材料的选择，合适的几何结构设计以及热绝缘是需要考虑的重要方面。 动态要求不仅需要考虑机械的力学分析，而且还要考虑整个计量和结构循环。关于坐标测量机的计量回路，主要包括：计量构架，探头和工件之间的交互作用以及测量系统的带宽。（例如：数据采集系统）。 计量系统几何校准的能力和不确定。使用这台仪器本身完成校准测量意味着这台仪器具有高的稳定性和可重复性来达到一个小的校准不确定度。同时应该考虑使用误差分离技术消除设备和工件的系统误差。不确定度分析是设计阶段一个重要的部分，因此必须像考虑校准系统一样考虑机械。 机械概念 许多关于上文所提到的三种主要目标所提出的概念已经被评估出来（重复性设计、校准和可预测性）。图一所示的是机械示意图，超精度坐标测量机的原型机的照片如图二所示。在机械周围使用外壳的目的是获得一个更加均匀和稳定的温度场。这台机械的主要子系统是测量系统和控制系统。 4.1 测量系统 镜台和支撑工件的运动是通过控制系统实现的（如图1）。镜台相对于探针针尖的位置坐标（x,y,z)是通过测量三个远程镜面干涉系统实现的。Z轴的激光干涉光束从控制系统的下方指向镜面平台。控制系统围绕激光干仪Z轴的光束构造的。为了满足阿贝原则，激光干涉仪轴的功能线与探针尖端的中心一条线。随着激光干涉仪和探针都是固定在计量框架上保持对齐，独立的测量位置。因此，阿贝原则在三个坐标轴上在整个测量体积过程中得到充分满足。计量框架利用弹性元件动态地连接到基本框架上。 图1所示为超精密坐标测量机示意图，在右侧的图中，控制系统的某些部分被除去以显示测量结构以及Z轴干涉仪的位置 图2带外壳的超精密坐标测量机原型机 图3具有防护层的测量结构 测量结构由两个工作面构成，一个包含X轴的干涉仪，另一个包含Y和Z轴的干涉仪。两个工作面通过探针系统附连。由于完全符合阿贝原则，测量系统只需输出三个轴干涉仪相对的平移位置信息即可。这意味着这种由两个工作面面和一个柱构成的简单直接的结构是可行的。 研究过程中很重要的一点就是温度补偿模型研究。这样测量结构可以不由由超级不胀钢或微晶玻璃等材料做成。为了提高热补偿模型以达到较小不确定度的能力，测量结构性能应该是可以预测的。因此