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 PAGE 31 J I A N G S U U N I V E R S I T Y 本 科 毕 业 论 文 文献综述、读书报告、外文翻译 学院名称： 机 械 学 院 专业班级： 光 信 1002 学生姓名： 蒋 杰 志 指导教师姓名： 佟 艳 群 指导教师职称： 讲 师 2014年 06月 文 献 综 述 摘 要 本文介绍了当前激光散斑技术的一些比较成熟的应用领域、现今的一些表面分析技术和激光散斑法对金属表面状态的分析。激光测量技术具有快速、非接触、无损特点，一直是研究的焦点。随着人们深入认识相干激光产生的散斑特性，作为一种统计测量技术，越来越多的人把散斑技术应用到测量表面粗糙度、位移、旋度、流体等领域。在线检测表面状态一直以来都是研究的热潮，为了寻找一种简单，无损的方法评估表面的状态，国内外提出了众多的课题研究，详细的分析别的方法的优缺点，结合本次研究课题讨论本次研究的意义。 引言 随着现代社会经济的迅猛发展,对精密工件也提出了更高的要求,如何衡量加工工件表面质量,即表面状态的分析是精密工件加工中至关重要的一环。而大多数的精密工件都是金属，所以本文主要研究重点是激光散斑法对金属表面状态的分析。 以前激光散斑技术用来测量振动、位移、应变、流体速度、传热、表面粗糙度[1-4]，不仅用于工业测量，在医学[5-7]、生态学等众多领域也有相当重大的贡献，然而激光散斑技术在表面分析领域中尚未有深入研究。表面粗糙度是对零件加工表而所具有的微小间距和微小峰谷以及微观几何尺寸特性的综合评价，单独作为评估金属表面状态的参数显得太过主观，为了更详细的评定表面状态，结合激光散斑法对表面状态分析，提供了一个客观的分析结果。 1.激光散斑技术 1.1.激光散斑 当激光光束投射到能散射光的粗斑表面（平均起伏大于光波波长数量级的表面)时，将会呈现出用普通光见不到的斑点状的图样。其产生是由于激光的高相干性，当激光照射到物体粗糙表面时，面上每一点都可视为一个子波源，它们的散射光相干叠加后在光场中用探测器或眼睛接收时，就能记录到一种杂乱无章的干涉图样，这样的干涉图样被称为激光散斑。 起初人们把散斑视为降低成像质量和限制干涉条纹清晰度的光学噪声，但近30年发展起来的散斑摄影术和散斑干涉度量术却形成了一种崭新的光测力学方法，散斑计量学。 1.2.激光散斑技术的应用 随着社会的不断发展，激光散斑技术应用领域不断扩展，1984年，陈华丽用 激光散斑法测量裂纹尖端张开位移及应力强度因子[8]。1986年，陈方等人用激光散斑法测量物体的倾角，增加了新的灵敏度调节因子，得到了测量物体倾角的新方法[9]。1990年，王建华成功的用激光散斑测量位移[10]。1991年，袁格等人与肖明海分别研究了激光散斑法在流体中的应用与透明物质的厚度测量[11-12]。1994年，姜守训等人用激光散斑法测定玻璃的线 胀系数，提出了简单的测量方法[13]。1998年，梁承姬等人展开了激光散斑法对冻土微裂纹形貌和发展过程的研究，为冻土材料的宏微观力学行为研究及弹塑性断裂韧度测试分析提供了有效的途径[14]。1999年，朱艳英等人用激光散斑法检测金属材料的焊接缺陷[15]。 早期激光散斑技术就应用在各个领域且不断被深入研究，应用在表面状态上的研究也是层出不穷，而大部分的研究都着眼于材料的表面粗糙度。在1983年，上海市激光技术研究所的赵哗英与上海交通大学包学诚，提出了激光散斑技术在表面粗糙度测量中的应用[16]。表面粗糙度，是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不平度，是评估表面状态的一个相当重要的参数。根据激光散斑强度分布的统计特性和利用散斑相关技术可以确定表面的粗糙度。这种方法具有非接触，无破坏等特点，并且可以直接得到表面粗糙度的特征参数(如Rq)，是一种很有发展前途的表面粗糙度测量的光学方法。实验采用图1装置,先利用C C D元件测量散斑反差，在利用消相关条件确定表现粗糙度。得出表面粗糙度测量可以利用激光散斑特性，这种测量方法与微处理机结合，可以达到数字化，是一种参数测量法。 图 1 激光散斑法测表面粗糙度的实验装置图 1993年，江苏工学院教授提出了一种激光散斑法实时测量表面粗糙度的新 方法[17]，根据激光散斑相干性原理与理论，提出了用双达夫枝镜产生两束间距和夹角连续可调的平面光波同时照射粗糙表面，由1-D CCD
采集散射光场的相干涉信号，经过计算机对对比度的处理，能实时测量物体表面粗糙度 。测试装置如图2,该方法较现