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半导体-液晶行业设备材料选用介绍
半导体、液晶行业设备材料选用介绍;目录;1.机台常用材料种类;聚合物类:
PP: 聚丙烯
PC: 聚碳酸酯
PVC:聚氯乙烯
C-PVC:氯化聚氯乙烯
POM: 聚甲醛塑料
PVDF: 聚偏氟乙烯
PTFE: 聚四氟乙烯;Nylon 610: 聚癸二酰己二胺
Nylon 612:聚十二乙烷二酰己二胺
Anti-static Transparent Acryl :
抗静电透明丙烯酸酯树脂;
PEEK: 聚醚醚酮;
UHMW-PE:超高分子量聚乙烯;
PET: 聚对苯二甲酸类塑料
MC-Nylon: 单体浇铸尼龙
;Al-profile: 铝质框架
主要是铝合金型材,一般加入Mg或Mn等金属形成相应的合金,具有密度小、强度高,耐蚀性好等优点,是很好的框架材料。
;LG2: 炮铜,一种优质铜合金:
一种集耐腐蚀抗疲劳耐磨损于一身的优质铜合金,一般在工业上用作活动连接件。机台中把Bearing grease的材质就是采用这种合金。
Al + Electroless Ni plating:化学镀镍铝合金
利用化学镀膜方法在铝合金表面镀一层镍,具有很好的耐腐蚀能力、良好的机械性能,难溶及不易与被空气氧化。
(主要用于Dry CV unit)
;SUS: SUS304 / SUS440C / SUS316:不锈钢
SUS304是奥氏体不锈钢,塑性较好因而其冷加工性能佳,同时因其奥氏体组织结构,无磁性,热处理难以增加其强度,其耐腐蚀性能较优;多用于制作不锈钢日用品、容器。(主要用于碱液单元、水单元传动轴、风刀本体等)
SUS440C是马氏体不锈钢,机械强度较SUS304高,并且可以通过热处理来进一步增强其机械性能,有磁铁吸附的特性;多用于制作工具、刀具及其它强度硬度要求较高的用途,可制造在腐蚀环境和无润滑强氧化中工作的轴承零件。 (主要用于SUS Bearing)
;SUS316不锈钢塑性、韧性、冷变性、焊接工艺性能良好,高温强度好,耐蚀性优秀,由于含碳量低且含有2%-3%的钼,提高了对还原性盐和各种无机酸和有机酸、碱、盐类的耐腐蚀性能,同时高温性强度。
(主要用于高压气体管路、药液单元等)
;PP: 聚丙烯
耐水性、化学稳定性、耐热性、成型性好等特点,机械性能较好,弯曲强度和拉伸强度接近于聚苯乙烯,刚性和延伸率好,抗应力开裂性比聚乙烯好,但耐磨性稍差;严重缺点是在氧,热,光作用下容易降解,老化,为此,应在聚丙烯塑料中加入稳定剂。
(主要用于马达传动的斜齿轮处);Anti-Static Transparent PC:
抗静电透明聚碳酸酯
PC是一种综合性能优良的非晶型热塑性树脂,具有优异的电绝缘性、延伸性、尺寸稳定性及耐化学腐蚀性,较高的强度、耐热性和耐寒性,价格低廉;还具有自熄、阻燃、无毒、可着色等优点;但也有硬度不足容易刮花,不耐强酸,不耐强碱,不耐紫外线。
(主要用于设备的Cover、door等位置)
;PVC:聚氯乙烯
可分为硬聚氯乙烯和软聚氯乙烯。
硬聚氯乙烯:不含或只含少量的增塑剂。强度较高,质硬,介电性能好,化学稳定性好,抗酸碱能力强,但耐热性不高。主要用于制造片材,板材,管材,棒材,弯头等各种型材或泡沫塑料。
软聚氯乙稀:含较多的增塑剂,可塑性,流动性比硬聚氯乙稀好,制品柔软且富有弹性,抗酸碱能力强,耐寒耐光且不受氧及臭氧的影响,但耐热性,机械强度,耐磨性,耐溶性及介电性不如硬聚氯乙稀。用于制造手柄,绝缘垫等结构性零件,电线电缆的绝缘层和软管。
(主要用于chamber、DIW tank等)
;C-PVC:聚氯乙烯-C
PVC经氯化而得的一种热塑性树脂,含氯量61~68%,氢原子没有全部被氯取代。溶解性、耐热性、耐寒性均比聚氯乙烯优越,不易燃烧,耐气候、耐化学药品及耐水性均优,可主要作热水上水管使用。
(主要用于水、药液管路等);POM: 聚甲醛塑料
俗称赛钢,性质最接近金属。 具有高机械强度和刚性、最高的疲劳强度、耐有机溶剂性佳、耐反覆冲击性强、使用温度范围广、良好的电气性质、复原性良好、具自已润滑性、耐磨性良好、尺寸安定性优等特点,但也有加工过程若长时间高温下易起热分解、抗酸性差的不足。可用于生产工业零件:机械零件、齿轮、把手、玩具、螺杆等。
(用于马达齿轮等位置)
;;UHMW-PE:超高分子量聚乙烯
分子量极高,属于价格适中、性能优良的热塑性工程塑料,它几乎集中了各种塑料的优点,具有普通聚乙烯和其它工程塑料无可比拟的耐磨、耐冲击、自润滑、耐腐蚀、吸收冲击能、耐低温、卫生
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