多晶硅铸锭炉升降机构设计选编.pptx

的炉门升降装置和隔热框升降装置的结构设计。多晶硅铸锭炉主要用来生产太阳能电池用的多晶硅锭，是整个光伏产业链中的关键设备，它技术难度高;，使用量大。目前，国内生产商使用的多晶硅铸锭炉大多为国外进口设备（美国和德国），价格昂贵。随着太阳能产业快速发展，国内数家机构开始对;多晶设备进行研制开发，中国电子科技集团公司第二研究所作为其中的一家研发机构，已对该设备的关键技术研制成功，并生产小批量产品投入市场应;用。1多晶硅铸锭炉介绍1.1多晶硅铸锭炉的工作原理多晶硅铸锭炉采用的晶体生长方法主要为定向凝固法，其工作原理由升温预热、硅料熔化、晶;体生长、退火去内应力4个过程完成。多晶硅铸锭炉在预热之前，炉体内预抽真空，可升降保温层与固定的底部隔热层留有搭接间隙，保证了加热时内;部热量损失小，加热区温场均匀性好。当硅料完全熔化开始结晶时，充入氩气，隔热框架升降装置将保温层缓慢向上提升，坩埚底部通过保温层与隔热;层之间的距离散热，吸热氩气与水冷炉壁进行热量置换后产生降温，形成温度梯度，晶体从坩埚底部逐渐向上定向生长，液相温度梯度接近常数。真空;机组和充气质量流量控制器相互匹配，使炉体内压力保持恒定设定值。1.2多晶硅铸锭炉结构组成多晶硅铸锭炉真空炉体采用不锈钢材料双层水冷结;构和立式安装，由上下两部分组成，开下炉门装料。真空系统由两级真空泵、机械泵和罗茨泵组成，并配有旁路比例阀抽气系统。加热采用石墨加