微纳制造与生物制造.ppt

;;微纳制造的概念 微纳制造技术是关于微系统和纳米技术的统称。 1）微系统 是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、生物等方面微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础，用批量化的微电子技术和三维加工技术来完成信息获取、处理及执行等功能。微系统按特征尺寸范围可分为三类：1mm - 10mm的微小机械，1μm - 1mm的微机械，1n - 10μm的纳米机械。 2）纳米技术 是指纳米级0.1nm - 100nm的材料、设计、加工、测量、控制和产品的技术。;;微系统的关键技术 ;微细加工技术;微细加工技术分类; 纳米（Nanometer）,是一个长度单位，简写为nm。 纳米技术是20世纪80年代末期诞生并在蓬勃发展的一种高新科学技术。纳米不仅是一个空间尺度上的概念，而且是一种新的思维方式，即生产过程越来越细，以至于在纳米尺度上直接由原子、分子的排布制造的具有特定功能的产品。 1.纳米技术的含义 纳米技术是指纳米级（0.1~100nm）的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术。它将加工和测量精度从微米级提高到纳米级。 2.纳米技术的主要内容 纳米技术是一门多学科交叉的高新技术，从基础研究角度来看，纳米技术包括：纳米生物学、纳米电子学、纳米化学、纳米材料和纳米机械学等新学科。; ;纳米加工技术;;2）半导体加工技术 半导体加工技术即半导体表面和立体的微细加工； 指在以硅为主要材料的基片上进行沉积、光刻与蚀刻的工艺过程。 半导体加工技术使微系统的制作具有低成本、大批量生产的潜力。 ;3）集成电路（IC）技术 集成电路（IC）技术是一种发展十分迅速且较成熟的制作大规模电路的加工技术，在微机械加工中使用较为普遍，是一种平面加工技术。 但该技术的刻蚀深度只有数百纳米，且只限于制作硅材料的零部件。;4）超微机械加工和电火花线切割加工 用小型精密金属切削机床及电火花、线切割等加工方法，制作毫米级尺寸左右的微机械零件，是一种三维实体加工技术，加工材料广泛，但多是单件加工、单件装配，费用较高。 ;5）键合技术 键合技术是一种把两个固体部件在一定的温度与电压下直接键合在一起的封??技术，其间不用任何粘接剂，在键合过程中始终处于固相状态。;6）分子装配技术 20世纪80年代初发明的扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microsoft，STM）以及后来在STM基础上派生出来的原子力显微镜（Atomic Force Microsoft，AFM），使观察分子、原子的结构从宏观世界进入了微观世界。 利用其探针的尖端可以俘获和操纵分子和原子，并可以按照需要拼成一定的结构，进行分子和原子的装配制作微机械。;1.电子束光刻加工技术 集成电路已经从20世纪60年代的每个芯片上包含仅几十个器件发展到现在的约10亿个器件，其集成度每3年提高4倍。 这一增长速度导致了半导体市场在过去30年中以年均约15%的速度增长，对现代经济、国防和社会产生了巨大的影响。 集成电路之所以能飞速发展，光刻技术的支持起到了极为关键的作用。;1.电子束光刻加工技术 电子束光刻是在由掩膜（其上有电路图形）、光致抗蚀剂涂层和半导体基片构成的三层材料上，利用电子束透射掩膜，照射到光致抗蚀剂涂层上，由于化学反应，经显影后，在光致抗蚀剂涂层上就形成与掩膜相同的所需线路图形。 在基片上形成电路有两种处理办法： ①用离子束溅射去除，可得到凹形电路。 ②用金属蒸镀方法，可形成凸形电路。 ;1. 电子束光刻加工技术;2. 微型机械昆虫 加州大学布克莱分校的学者花了三年时间，研究自然界昆虫的特别飞行方式，并根据非稳定速度模式的气动学原理，制造了只有 25 毫米宽 的微型机械昆虫。 机械昆虫有类似同类生物的灵活胸腔结构，并在其中置有压电致动器，可作有力及高频率的振翅动作，只要装上锂电池或太阳能充电电池，便能像自然界中的昆虫一样自动不停的飞翔。;3. 世界最小的微型机械人 美国科学家成功研制了世界最小的微型机械人，其只有1/4立方寸，体重小於1盎司。 科学家希望利用这种微型机械人，帮助侦查地雷，化学及生物武器的所在； 机械人体积细小，可爬进建筑物管道找出化学品等，并将有关信息传送到指挥中心； 科学家还可以部署一群微型机械人，进行不同的任务。;;5. 微型机械零件“自组织化”装配技术　　 东京大学山下勋教授利用自然界的“自组织化”现象把散乱零件结合到一起，开发出微型机械零件“自组织化”自动装配技术。 原子在硅酸化物基片上可以自然成形，这种现象被称为“自组织化”。 在微型零件表面涂上化学物质，让他们具有溶水性或排水性，然后放入溶液中。结果，排水性零件互相