FeTi纳米多层薄膜退火初期的扩散行为.pdfVIP

第 27 卷 第 3 期 大 连 铁 道 学 院 学 报 VOI. 27 NO. 3 2006 年 9 月 JOURNAL OF DALIAN RAILWAY INSTITUTE Sep. 2006 文章编号：1000- 1670（2006）03- 0066- 04 Fe / Ti 纳米多层薄膜退火初期的扩散行为 彭天祥1 ，吴志立2 ，朱雪梅1 ，雷明凯2 （1. 大连交通大学 材料科学与工程学院，辽宁 大连 116028；2. 大连理工大学 材料科学与工程学院，辽宁 大连 116024）! 摘 要：采用双室高真空磁控溅射装置在溅射功率 60 W 和工作气压 0. 5 Pa 下直流磁控溅射沉积了调 制比为 1，设计调制周期 18. 0 nm 的 Fe / Ti 纳米多层薄膜. 利用横截面透射电镜（XTEM）、差示扫描量热 分析仪（DSC）及小角和广角 X 射线衍射（ SA / WAXRD）分析退火初期的扩散行为. 实测调制周期 16. 2 nm，原始沉积 Fe / Ti 纳米多层薄膜由交替生长的纳米多晶 ! -Fe 和 ! -Ti 组成，调制界面清晰. Fe / Ti 纳米 多层薄膜热失稳过程包括亚层间的扩散、金属间化合物 FeTi 形成和长大 3 个阶段. 退火温度为 473 K 时，保持与原始沉积相同的成分调制结构；退火温度升高到 523 K，Fe 与 Ti 亚层间发生互扩散，成分调制 结构破坏，但相变未发生；达到最高退火温度 623 K，过饱和固溶体 ! -F（e Ti）和金属间化合物 FeTi 形成. 关键词：Fe / Ti 纳米多层薄膜，加热退火，扩散，金属间化合物 中图分类号：Tg113. 12 文献标识码：A Diffusion in Initial Stage of Thermal Annealing of Fe / Ti Nanometer-Scale Multilayers PENg Tian-xiang1 ，WU Zhi-Ii2 ，ZHU Xue-mei1 ，LRI Ming-kai2 （1. SchOOI Of MateriaIs Science and Engineering，DaIian JiaOtOng University，DaIian 116028，China；2 Surface Engineering LabOratOry，SchOOI Of MateriaIs Science and Engineering，DaIian University Of TechnOIOgy，DaIian 116024，China） Abstract：Fe / Ti nanOmeter-scaIe muItiIayers Of nOminaI biIayer thickness Of 18. 0 nm with aIter- nating Fe and Ti subIayers thickness ratiO Of 1 1 1 were depOsited by direct current magnetrOn sputtering using a sputtering target suppIy pOwer Of 60 W under wOrking pressure Of 0. 5 Pa. The initiaI stage Of thermaI anneaIing Of the Fe / Ti nanOmete-scaIe muItiIayers was investigated by crOss-sectiOnaI transmissiOn eIectrOn micrOscOpy（ XTEM），differentiaI scanning caIOrimetry （DSC）and smaII and wide