180um单晶硅片切割研究.pdf

胤卿???蛐．?????稀璱??单晶硅片切割研究?袁为进注钉崇?笛?刖太阳能作为一种可再生的新能源，越来越引起人们的关注。光伏发电是太阳能利用的一种方式，因其节能和环保的效果，受到广泛的重视。最近几年光伏发电发展迅速，原材料价格不断上涨，如何控制成本成为人们美注的新的热点问题”?Ｒ灾伦魑L?裟艿绯氐幕?〔牧希?杵??嚼丛较虼蟪叽缁?⒈∑??魇品⒄埂?线切割机以扳高的生产效率和出片率广泛应用在超薄大直径太阳能硅片加工领域。硅片在太阳电池的成本中几乎占了?％．所以利用线切割设备的先进工艺和技术特性来降低硅片制造成本、节约原材料、提高生产教率已成为该领域目前芰注的焦点?。切割过程是造成硅片表观缺陷、应力、破损和机械损伤的最主要工序，对太阳电池性能有租太影响。因此研究先进的薄片切割工艺，对光伏行业的发展有重要的指导意义。本文着重讨论了薄片切割过程中存在的一些问题和影响这些问题的因素．并研究了切割过程中悬浮液的影响及其理想工本试验所用切割设备为???懈罡窒咧本段???．??秃盼????，悬浮液为????．工作温度为?％；切割单晶晶棒规格为．晶向????缱杪饰?．?????。把粘完胶并固化好的晶捧固定到机器的工作台上；打开砂浆泵，察看砂浆流量；按照工作台上的回原点键，使工作台、主轴头等回原点；转换到自动切割模式，按自动键开始切割，机器会自动完成整根单晶棒的切片工作；最后按停止键停机，切割示意图如图??尽Ｊ匝榉??诓煌?凰??不同载荷下研究了不同切割工艺对硅片的影响；光恢组件制造、设备?⒄构婊?技术部常州★台光能有限公司；扛苏省常州市邮缩：???联系电话????????妗轠?????电子信摘要美键词吕??鹘谏敖?髁俊⑾呓ā⒕О艚??ǘ鹊壤打空剐碌谋∑?懈領艺。试验结果表明．新的切割工艺完垒能够端????∑?那懈睿???倍舷摺⒌羝?晌G懈钪凶钜齘兰注的问胚。试睦研究发现．通过挺高腔承的牯接强度和固化后的硬度日“大大降低硅片的掉片率．改变线罔进、出线两端的张力和羲荷量可“降低断作温度。????懈畈?羰疽馔?箱研究用??咔懈罨?髑懈????ゾЧ杵?目尚行裕?癝?颗牲与???∫沟幕焯ǚ獇贽怍为切割眭并线宰；同时本文还研究??』凑逞履课露戎?⒌墓叵担?凹岸郧懈钅芰Φ挠跋臁?线切割：断线；掉片；悬浮藏?度圈?????，????” 纛。???雞?㈣Ⅻ??‰???????発”??Ⅱ?竣鐰：：：：．薹：星：詈主：：兰兰芝：兰：：：两种腔水粘接后的品棒切蛔栅把悯??懈钗侍饧敖饩龇桨秆芯???￡???“????羝?窒筘?核?匝檠芯?随着硅片厚度的减薄．单强晶片带瞳面上所酣的胶量减少，此时若币增加腔承的接着力和硬度就会导致硅片在切割和取棒过程中从玻璃板上脱落，造成切片损失。本试验采用了两种不同的胶水?和?对晶棒进行了粘接切割试验，研究两种不同腔水粘接后的切割表现。两种胶水的相关参数见表?偏硬?柬瘢琒?獶?由表?屯?，我们可以发现，?徽辰拥木О羟懈詈蟮牡羝?屎褪章识加庞贐腔，这主要是因为??的接着力称硬度都比?汉谩???晶棒切割时锕线受力分析和断线试验研究理想情况下，线与晶棒为点接触．如图??杞哟サ阄狟，受到?鲎饔昧Γ篎??????????水平切割力．?为垂直切割力。?、?为线张力，方向相反。线弓感应器可测出十?⑹?，由图可看出十????甿??．?????直鹞A蕉蜗叩墓?恰Ｓ葿点受力平衡，得到下面两个方程：?????以上方程中．?、?，?、?可测．联立方程????得到”、?寰?，?街智凰?锢硖匦远员?下片难易度难??妫?一?分钟?田?街智凰?嘲艉蟮那懈罘蟮喽浴????????????禼?十????／??十?颜色黑色紫色使用比倒可操作时阔??舟钟?分钟易?＠倩蛭滤?接着力强信羁硬度儡软?妓疲?薿∞?芑???甌??辪???Ⅱ??一??％?．?％??。 墨墓???虼松絣??，巾??籨，但由于实际线切割过程中，接触我们可以看出：随着载荷的减少，断线的发生率也随之减少。这主要是因为，载荷量增加，钢线与晶棒的接触点增多，钢线的受力增大。从图??颐强梢钥闯觯赫帕κ怯跋於舷呗实闹匾R蛩兀?侠淼纳柚谜帕δ苡行У慕档投舷呗省Ｕ饫顰代对工件室的机械系统精度要求很高，故线切过程中的温度控制至关重要。线锯切割时～般需耗时好几个小时，长时间的温升积累会使机器的工作台发生无法察觉到的变形，直接影硅锭进行线切割时，砂浆嘴将砂浆喷在线网上，导轮转■厦戊光伏组件制造、设备及发展规划．??．若?阄挥诹降悸种械悖??区域不是点接触而是长度一定的弧接触，此问题还需进一步研究。图??为了研究不同载荷和不同进出线段的张力对断线的影响，我们共进行?刀切割试验。试验结果如图??从图??表的张力设置为：进线端．???鱿叨耍??；??淼恼帕ι柚梦#航?叨耍??，出线端．?????悬浮液粘度与切割能力的研究由于超薄线切对