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現代加工技术-09电子束、离子束加工
电子束离子束加工;课程内容大纲;7.1 电子束加工;概述 ;EB- Generator von pro-beam;;电子束加工原理图;一、电子束加工的原理和特点;2.电子束加工特点;二、电子束的加工装置;二、电子束的加工装置;控制系统和电源;三、电子束加工应用;1.电子束打孔 ;1.电子束打孔 ;1.电子束打孔 ;;2．加工型孔及特殊表面;电子束加工弯曲的孔;3.电子束切割;电子束加工样品;4.电子束刻蚀;5.电子束焊接;电子束焊接的实例图片;6.电子束表面处理 ;6.电子束表面处理 ;7.电子束光刻;电子束曝光加工过程;;电子束刻蚀图案;电子束加工END;Automatische Strahlpositionierung.;EB- Deflection Technics;EB- Deflection Technics: Multi Process Technics ;2-Kammerschleusenanlage zum EB- Schwei?en von Raumfahrtkomponenten.;EB-Umschmelzen (EBU) von Nockenwellen.;EB- H?rten von Nockenwellen.;7.2 离子束加工;*;*;2.离子束加工分类;*;; 采用能量为0.1～5keV的氩离子轰击某种材料制成的靶材，将???材原子击出并令其沉积到工件表面上并形成一层薄膜。实际上此法为一种镀膜工艺 。;;; 用5～500keV能量的离子束，直接轰击工件表面，由于离子能量相当大，可使离子钻入被加工工件材料表面层，改变其表面层的化学成分，从而改变工件表面层的机械物理性能。;加工精度高。离子束加工是目前最精密、最微细的加工工艺，是当代毫微米级加工技术的基础。离子束轰击工件的材料时，其束流密度和能量可以精确控制。离子刻蚀可达纳米级精度，离子镀膜可控制在亚微米级精度，离子注入的深度和浓度亦可精确地控制。
环境污染少。离子束加工在真空中进行，特别适宜于对易氧化的金属、合金和半导体材料进行加工。
加工质量高。离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的，加工应力和变形极小，适宜于对各种材料和低刚件零件进行加工。
离子束加工设备费用贵、成本高，加工效率低，因此应用范围受到一定限制。;二、离子束加工装置;1.考夫曼型离子源;2.双等离子体型离子源;三、离子束加工的应用;*;*;*;*;*;*;*;*
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