体视显微镜与CCD成像系统在高阶贝塞尔光束光斑测量中的应用.pdfVIP

第?卷第?期 强 激 光 与 粒 子 束 V??1??26??N????11 2014??11?? ?? POWER LASER AND ???? BEAMS NoV????2014 ????????????CCD???????????????????????? 光斑测量中的应用。 陈姿言， 吴逢铁， 何 西， 沈栋辉 ?G却笱?畔⒖蒲в牍こ萄г海?＝ㄊ」獯?溆氡浠恢氐闶笛槭遥?＝ㄏ妹???? 摘 要： ??????????????????????????????CCD?????????????????????????????????????????????? ????????????????LED??????????????????????????????????????????(Bessel)?????????????????????????? 距离处的截面光强分布图，并与相应的实验参数?纾鹤畲笪扪苌渚嗬搿⒅行陌蛋咧本兜?进行比较。实验结果 ??????????????????CCD???????????????????????????????????????????????????????????????????????? 度。 ????????????????????cCD???????????????????????????????????????? 中图分类号： ?? 文献标志码： A doi??10??11884??HPLPB201426??111006 传统的对微尺寸的测量方法有游标卡尺、千分尺等，然而这些方法精确度低，而且测量信息无系统性。为 了满足信息化、高效化的要求，光电器件和光学仪器被大量应用于测量中。目前在国内的研究中测量光束光斑 的方法主要有利用体视显微镜测量光斑的中心暗斑直径、利用??上裣低巢杉?獍咄枷馵?、基于光???阵列 的光斑测量心?Ｆ渲刑迨酉晕⒕岛蚦?成像系统的光束光斑测量方法精确度较高并且操作简便，是体现精密 测量和超精密测量被广泛应用的重要方面。本实验小组多年从事激光传输与变换的工作，尤其是在无衍射光 ??????????????????????????????????????????????(Bessel)????????????????????????????????????]?????? 同于普通的光束在传播过程中光场会遭受到衍射扩展。而高阶的???光束具有相位奇点中心光强为零的 ????[4]??????????????????????????????????????????????????????????????????????]??????????????CCD 成像系统是本实验小组常用的微尺寸光斑测量装置，在实验中体视显微镜所拍摄到的图片清晰，但测量时的精 ????????????CCD?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? CcD?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ??????????????????????????????CCD???????????????????????????????????????????????????????????? ??????????????????????????????????????LED???????????????????????????????????????????????????? 射距离以及中心暗斑直径来比较这两种仪器在光斑测量中的适用性。 l?????????????????? 本文采用